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微細加工技術雜志簡介

微細加工技術雜志創刊于1983年，辦刊以來，融指導性、實用性、知識性于一體，發行周期為：雙月刊，經過雜志社調整，不斷提高了刊物的整體質量，在行業內有一定的影響。

微細加工技術投稿須知
預計審稿時間：3-6個月

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(二)來稿一律不退，請自留一份。3個月后未有錄用消息，可自行處理。

(三)正文標題：內容應簡潔、明了，層次不宜過多，層次序號為一、（一）、1、（1），層次少時可依次選序號。

(四)參考文獻指所引用的論文或著作。參考文獻統一置于文末，采用“[1]、[2]、[3]……”符號排序。

(五)關鍵詞應選擇那些最具有檢索意義的術語，通過這些術語反映論文所涉及的內容或領域，以便于讀者檢索到該論文。

微細加工技術歷史收錄信息

Scopus數據庫（2021）

微細加工技術發表范例

90 nm技術節點硅柵的干法刻蝕工藝研究

作者：張慶釗; 謝常青; 劉明; 李兵; 朱效立; 馬杰
硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導體量子線

作者：郭志超; 王光燦; 王清理; 張晉
微細電解加工中工具電極的制備及應用

作者：王明環; 朱荻; 王磊; 張朝陽
基于UV-LIGA技術的電磁型射頻MEMS開關的集成制作

作者：張永華; 歐陽煒霞; 汪紅; 丁桂甫; 蔡炳初; 賴宗聲
雙向橫向熱執行器結構設計

作者：單建華; 林丙濤; 汪小華; 孔德義; 梅濤; 褚家如

微細加工技術數據統計

名詞解釋：

被引次數：指該刊被當參考文獻的引用次數，以及被下載次數。

影響因子：指該刊在某年被全部源刊物引證該刊前兩年發表論文的次數，與該刊前兩年所發表的全部源論文數之比。

主要參考文獻期刊分析：

主要引證文獻期刊分析：

微細加工技術同類期刊推薦

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微細加工技術雜志

Microfabrication Technology

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微細加工技術歷史收錄信息

微細加工技術發表范例

90 nm技術節點硅柵的干法刻蝕工藝研究

硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導體量子線

微細電解加工中工具電極的制備及應用

基于UV-LIGA技術的電磁型射頻MEMS開關的集成制作

雙向橫向熱執行器結構設計

微細加工技術數據統計

主要參考文獻期刊分析：

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熱門問題

微細加工技術同類期刊推薦

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硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導體量子線

微細電解加工中工具電極的制備及應用

基于UV-LIGA技術的電磁型射頻MEMS開關的集成制作

雙向橫向熱執行器結構設計

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