集成電路工藝原理大全11篇

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篇（1）

中圖分類號(hào)：G424 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A DOI：10.16400/ki.kjdkz.2016.01.047

The Research of Experimental Teaching on "Integrated Circuit

Process Foundation" in Independent College

WEN Yi， HU Yunfeng

（University of Electronic Science and Technology of China， Zhongshan Institute， Zhongshan， Guangdong 528402）

Abstract Combining electronic science and technology applied talents training model in independence colleges， the experimental teaching was discussed on the "integrated circuit process foundation" course. The course was composed of simulation multimedia teaching system， basic semiconductor planar process experiment， process simulation software and school-enterprise cooperation. With the author's teaching practice， the enthusiasm of students was trying to effectively mobilized， and the development of students' learning ability and practical ability to train qualified electronic information applied talents was promoted.

Key words applied talents; integrated circuit process foundation; experimental teaching

0 引言

微電子技術(shù)和產(chǎn)業(yè)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中具有舉足輕重的地位。高校的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)以培養(yǎng)微電子學(xué)領(lǐng)域的高層次工程技術(shù)人才為目標(biāo)，學(xué)生畢業(yè)后能從事電子器件、集成電路和集成系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制造，以及相關(guān)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新工藝的研制與開發(fā)等方面工作。

“集成電路工藝基礎(chǔ)”是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的一門核心課程，講授半導(dǎo)體器件和集成電路制造的單項(xiàng)工藝基本原理和整體工藝流程。本課程是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)課程體系中的重要環(huán)節(jié)，也是學(xué)生知識(shí)結(jié)構(gòu)的必要組成部分。通過本課程的學(xué)習(xí)，學(xué)生應(yīng)該具備一定工藝分析、設(shè)計(jì)以及解決工藝問題的能力。

集成電路工藝實(shí)驗(yàn)作為“集成電路工藝基礎(chǔ)”課程的課內(nèi)實(shí)驗(yàn)，是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的專業(yè)課教學(xué)的重要組成部分，具有實(shí)踐性很強(qiáng)、實(shí)踐和理論結(jié)合緊密的特點(diǎn)。加強(qiáng)工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)對(duì)于培養(yǎng)高質(zhì)量的集成電路專業(yè)人才十分必要。但是集成電路的制造設(shè)備價(jià)格昂貴，環(huán)境條件要求苛刻，限制了工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)在高校的開展。國(guó)內(nèi)僅少數(shù)重點(diǎn)大學(xué)能夠承受巨大的運(yùn)營(yíng)費(fèi)用，擁有簡(jiǎn)化的集成電路工藝線或工藝試驗(yàn)線供科研、教學(xué)使用。而大多數(shù)學(xué)校只能依靠到研究所或Foundry廠進(jìn)行參觀式的實(shí)習(xí)來解決工藝實(shí)驗(yàn)問題，這對(duì)于學(xué)生實(shí)踐能力的培養(yǎng)是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。

我院電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)成立于2003年，現(xiàn)每屆招收本科生約120人，多年內(nèi)為珠三角地區(qū)培養(yǎng)了大量專業(yè)人才。隨著集成電路技術(shù)日新月異的發(fā)展，對(duì)從業(yè)人員的要求也不斷升級(jí)，所以工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)也必須與時(shí)俱進(jìn)。作為獨(dú)立學(xué)院，如何結(jié)合自身實(shí)際地進(jìn)行工藝實(shí)驗(yàn)室建設(shè)、采用多種方法手段開展工藝實(shí)驗(yàn)的教學(xué)，提高集成電路工藝課程的教學(xué)質(zhì)量，是我們所面臨的緊迫問題。本文以“集成電路工藝基礎(chǔ)”實(shí)驗(yàn)教學(xué)實(shí)踐為研究對(duì)象，針對(duì)獨(dú)立學(xué)院學(xué)生理論基礎(chǔ)較為薄弱，動(dòng)手熱情比較高的特點(diǎn)，就該課程教學(xué)內(nèi)容和教學(xué)方式進(jìn)行了探討。

1 “集成電路工藝基礎(chǔ)”的實(shí)驗(yàn)教學(xué)

“集成電路工藝基礎(chǔ)”具有涉及知識(shí)面廣，教學(xué)內(nèi)容信息量大，綜合性強(qiáng)，理論與實(shí)踐結(jié)合緊密的特點(diǎn)，課程教學(xué)難度相對(duì)較大。同時(shí)獨(dú)立學(xué)院相應(yīng)配套的實(shí)驗(yàn)教學(xué)設(shè)備較為缺乏。為了提高學(xué)生對(duì)該課程的興趣，取得更好的實(shí)驗(yàn)教學(xué)效果，讓學(xué)生能將理論應(yīng)用于實(shí)踐，具有較強(qiáng)的集成電路生產(chǎn)實(shí)踐和設(shè)計(jì)開發(fā)能力，筆者從如下幾方面對(duì)實(shí)驗(yàn)教學(xué)進(jìn)行了嘗試。

1.1 工藝模擬多媒體教學(xué)系統(tǒng)

運(yùn)用傳統(tǒng)的教學(xué)方法，很難讓學(xué)生理解抽象的器件結(jié)構(gòu)和工藝流程并產(chǎn)生興趣。我院購(gòu)置了清華大學(xué)微電子所的集成電路工藝多媒體教學(xué)系統(tǒng)，幫助學(xué)生對(duì)集成電路工藝流程有一個(gè)全面生動(dòng)的認(rèn)識(shí)。該系統(tǒng)提供擴(kuò)散、氧化和離子注入三項(xiàng)工藝設(shè)備的操作模擬，充分利用多媒體技術(shù)，將聲光電等多種素材進(jìn)行合理的處理，做到圖文聲像并茂，力爭(zhēng)使抽象的知識(shí)形象化，獲得直觀、豐富、生動(dòng)的教學(xué)效果。該系統(tǒng)涉及大量的集成電路制造實(shí)際場(chǎng)景與特殊細(xì)節(jié)，能較全面地展示Foundry廠的集成電路生產(chǎn)環(huán)境和工藝流程。內(nèi)容豐富、身臨其境的工藝模擬能大大提高學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，幫助學(xué)生理解理論知識(shí)。

此外，在工藝課程的課堂教學(xué)過程中，嘗試?yán)脤W(xué)生自學(xué)討論作為輔助的形式。針對(duì)某些章節(jié)，老師課前提出問題，安排學(xué)生分組準(zhǔn)備，自習(xí)上網(wǎng)收集最新的與集成電路工藝實(shí)驗(yàn)相關(guān)的資料，整理中、英文文獻(xiàn)，制作內(nèi)容生動(dòng)的PPT在課堂上演示并展開討論，最后歸納總結(jié)。這樣既培養(yǎng)了學(xué)生利用網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行自學(xué)和小組合作作學(xué)習(xí)的習(xí)慣，提高網(wǎng)上查找、整理資料的能力，也為老師的多媒體課件制作提供了素材，豐富了老師的教學(xué)內(nèi)容。

1.2 基礎(chǔ)的半導(dǎo)體平面工藝實(shí)驗(yàn)

學(xué)院一直非常重視電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的建設(shè)問題，在實(shí)驗(yàn)室配置方面的資金投入力度比較大。在學(xué)院領(lǐng)導(dǎo)的大力支持下，近年來實(shí)驗(yàn)室購(gòu)置了一批集成電路工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備和儀器，如光刻機(jī)、涂膠機(jī)、氧化反應(yīng)室、磁控濺射設(shè)備、半導(dǎo)體特性測(cè)試系統(tǒng)和掃描電子顯微鏡等，為集成電路工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)的開展打下了良好的物質(zhì)基礎(chǔ) 。

在集成電路專業(yè)教學(xué)中，工藝實(shí)驗(yàn)是非常重要的環(huán)節(jié);讓學(xué)生進(jìn)行實(shí)際操作，對(duì)于培養(yǎng)應(yīng)用型人才也是非常必要的。通過調(diào)研考察兄弟院校的工藝實(shí)驗(yàn)開展情況，結(jié)合我院的實(shí)際情況和條件，確定了我院電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的基礎(chǔ)半導(dǎo)體平面工藝實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目，如氧化（硅片熱氧化實(shí)驗(yàn)）、擴(kuò)散（硅片摻雜實(shí)驗(yàn)）、光刻（硅片上選擇刻蝕窗口的實(shí)驗(yàn)）、淀積（PVD、CVD薄膜制備的實(shí)驗(yàn)）等。

這些設(shè)備和儀器，除了用于工藝課程實(shí)驗(yàn)教學(xué)外，平時(shí)還開放給本科生畢業(yè)設(shè)計(jì)、學(xué)生創(chuàng)新項(xiàng)目及研究生科研等。通過實(shí)際動(dòng)手操作，使學(xué)生能將所學(xué)理論知識(shí)運(yùn)用到實(shí)際中，既培養(yǎng)了學(xué)生的實(shí)際操作能力，又引導(dǎo)學(xué)生在實(shí)踐中掌握分析問題、解決問題的科學(xué)方法，加深了對(duì)集成電路工藝技術(shù)和原理的理解。

1.3 工藝仿真軟件

現(xiàn)代集成電路的發(fā)展離不開計(jì)算機(jī)技術(shù)的支持，所以要重視計(jì)算機(jī)仿真在課程中的作用。TCAD（Technology Computer Aided Design）產(chǎn)品是研究、設(shè)計(jì)與開發(fā)半導(dǎo)體器件和工藝所必需的先進(jìn)工具。它可以準(zhǔn)確地模擬研究所和Foundry廠里的集成電路工藝流程，對(duì)由該工藝流程制作出的半導(dǎo)體器件的性能進(jìn)行仿真，也能設(shè)計(jì)與仿真太陽(yáng)能電池、納米器件等新型器件。

利用美國(guó)SILVACO公司的TCAD產(chǎn)品，筆者為工藝課程開設(shè)了課內(nèi)仿真實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目包括薄膜電阻、二極管、NMOS等基本器件的設(shè)計(jì)和工藝流程仿真。通過ATHENA和ATLAS軟件教學(xué)，指導(dǎo)學(xué)生仿真設(shè)計(jì)基本的半導(dǎo)體器件，模擬工藝流程，從而鞏固所學(xué)理論知識(shí)，使學(xué)生將工藝和以前學(xué)過的半導(dǎo)體器件的內(nèi)容融合起來。學(xué)生在計(jì)算機(jī)上通過軟件進(jìn)行仿真實(shí)驗(yàn)，既可以深入研究仿真的工藝流程細(xì)節(jié)，又可以彌補(bǔ)由于設(shè)備條件的制約帶來的某些實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目暫時(shí)無法開出的不足。

1.4 校企合作

培養(yǎng)應(yīng)用型人才還必須結(jié)合校企合作。珠三角地區(qū)是微電子產(chǎn)業(yè)的聚集地，企業(yè)眾多，行業(yè)發(fā)展前景好。加強(qiáng)校企聯(lián)系，可以做到合作共贏，共同發(fā)展。通過組織學(xué)生到半導(dǎo)體生產(chǎn)測(cè)試企業(yè)參觀實(shí)習(xí)，如深圳方正微電子、珠海南科、中山木林森LED等，讓學(xué)生親身體驗(yàn)半導(dǎo)體企業(yè)的生產(chǎn)過程，感受集成電路工廠的生產(chǎn)環(huán)境，了解本行業(yè)國(guó)內(nèi)外發(fā)展的概況，從而彌補(bǔ)課堂教學(xué)的不足，激發(fā)學(xué)生學(xué)習(xí)熱情，引導(dǎo)學(xué)生畢業(yè)后從事相關(guān)工作。目前，學(xué)院與這些半導(dǎo)體生產(chǎn)測(cè)試企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系，每屆畢業(yè)生都有進(jìn)入上述企業(yè)工作的。他們?cè)诠ぷ鲘徫簧媳憩F(xiàn)良好，獲得用人單位的好評(píng)，既為企業(yè)輸送了合格人才，也為往后學(xué)生的職業(yè)規(guī)劃樹立了榜樣，拓展了學(xué)生的就業(yè)渠道。

2 結(jié)束語(yǔ)

經(jīng)過筆者幾年來的實(shí)踐，在“集成電路工藝基礎(chǔ)”課程的實(shí)驗(yàn)教學(xué)中，對(duì)教學(xué)內(nèi)容和教學(xué)方式進(jìn)行了改進(jìn)，形式多樣，互為補(bǔ)充，內(nèi)容全面、新穎，注重學(xué)生實(shí)踐技能的培養(yǎng)，對(duì)提高學(xué)生整體素質(zhì)起到了積極作用，實(shí)現(xiàn)了教學(xué)質(zhì)量的提高。當(dāng)然，“集成電路工藝基礎(chǔ)”課程的實(shí)驗(yàn)教學(xué)還有很大的改進(jìn)空間，我們還需要在實(shí)踐中不斷地改革與探索，將其逐步趨于完善，使其在培養(yǎng)獨(dú)立學(xué)院應(yīng)用型人才的過程中發(fā)揮巨大的作用。

參考文獻(xiàn)

[1] 王紅航，張華斌，羅仁澤.“微電子工藝基礎(chǔ)”教學(xué)的應(yīng)用能力培養(yǎng)[J].電氣電子教學(xué)學(xué)報(bào)，2009.31（2）.

[2] 王蔚，田麗，付強(qiáng).微電子工藝課/實(shí)驗(yàn)/生產(chǎn)實(shí)習(xí)的整合研究[J].中國(guó)現(xiàn)代教育裝備，2012.23.

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關(guān)鍵詞： 電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)；集成電路工藝學(xué)課程；教學(xué)改革

Key words： electronic science and technology major; IC technology courses; teaching reform

中圖分類號(hào)：G42文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1006-4311（2011）13-0223-01

1 信息時(shí)代需要優(yōu)秀的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的人才

電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)具有多學(xué)科滲透、應(yīng)用性強(qiáng)、主要服務(wù)于IC行業(yè)等鮮明特點(diǎn)。能夠從事電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的研究、設(shè)計(jì)、開發(fā)、應(yīng)用和管理的高級(jí)人才。目前國(guó)內(nèi)開設(shè)電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的學(xué)校有：天津大學(xué)、電子科技大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、北京理工大學(xué)、北京航空航天大學(xué)等幾十所學(xué)校。通過本課程的學(xué)習(xí)應(yīng)使學(xué)生對(duì)集成電路工藝學(xué)中的基本概念、基本技術(shù)和基本器件有比較全面、系統(tǒng)的認(rèn)識(shí)，培養(yǎng)學(xué)生分析和解決工程技術(shù)問題的能力，為進(jìn)一步學(xué)習(xí)相關(guān)專業(yè)課打下基礎(chǔ)。主要研究氧化、擴(kuò)散和離子注入等相關(guān)技術(shù)。使學(xué)生掌握光刻、刻蝕和蒸發(fā)濺射等的基本概念及基本技術(shù)，對(duì)集成電路工藝學(xué)有比較全面、系統(tǒng)的認(rèn)識(shí)和了解。

2 我校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)本科人才的培養(yǎng)目標(biāo)

該專業(yè)畢業(yè)生應(yīng)獲得以下幾方面的知識(shí)和能力：①掌握信息科學(xué)、電子學(xué)和計(jì)算機(jī)科學(xué)學(xué)科的基本理論、基本知識(shí)；②微電子技術(shù)系統(tǒng)及其決策支持與安全防護(hù)系統(tǒng)的分析與設(shè)計(jì)方法和研制技術(shù)；③具有使用計(jì)算機(jī)和儀器設(shè)備解決工程問題的能力；④具有創(chuàng)新意識(shí)和獨(dú)立獲取新知識(shí)的能力。

3 電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)集成電路工藝學(xué)課程教學(xué)改革探討

3.1 集成電路工藝學(xué)的內(nèi)涵 集成電路工藝學(xué)是利用研磨、拋光、氧化、擴(kuò)散、光刻、外延生長(zhǎng)、蒸發(fā)等一整套平面工藝技術(shù)，在一小塊硅單晶片上同時(shí)制造晶體管、二極管、電阻和電容等元件，并且采用一定的隔離技術(shù)使各元件在電性能上互相隔離。然后在硅片表面蒸發(fā)鋁層并用光刻技術(shù)刻蝕成互連圖形，使元件按需要互連成完整電路，制成半導(dǎo)體單片集成電路。隨著單片集成電路從小、中規(guī)模發(fā)展到大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路，平面工藝技術(shù)也隨之得到發(fā)展。例如，擴(kuò)散摻雜改用離子注入摻雜工藝；紫外光常規(guī)光刻發(fā)展到一整套微細(xì)加工技術(shù)，如采用電子束曝光制版、等離子刻蝕、反應(yīng)離子銑等；外延生長(zhǎng)又采用超高真空分子束外延技術(shù)；采用化學(xué)汽相淀積工藝制造多晶硅、二氧化硅和表面鈍化薄膜；互連細(xì)線除采用鋁或金以外，還采用了化學(xué)汽相淀積重?fù)诫s多晶硅薄膜和貴金屬硅化物薄膜，以及多層互連結(jié)構(gòu)等工藝。

3.2 電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)集成電路工藝學(xué)課程教學(xué)改革措施

3.2.1 教學(xué)內(nèi)容 ①授課體系和重點(diǎn)；課程根據(jù)電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)方向的學(xué)生培養(yǎng)要求，著重從硅工藝的角度出發(fā)，理論方面力求清楚易懂，闡述微電子學(xué)基礎(chǔ)、半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)、光電現(xiàn)象和光電效應(yīng)，重點(diǎn)介紹常用工藝原理、特性和參數(shù)。為了更好的運(yùn)用硅基器件，對(duì)各類器件的電路也作了詳細(xì)的分析，同時(shí)給出實(shí)際應(yīng)用系統(tǒng)舉例。②所講授的知識(shí)要緊跟科學(xué)發(fā)展前沿；集成電路工藝學(xué)教科書對(duì)于迅猛發(fā)展的集成電路工藝學(xué)來說，既是基本的，又是滯后的，教師授課時(shí)如果按教材講解，往往會(huì)帶來知識(shí)陳舊、講課形式單一、內(nèi)容枯燥乏味的后果，造成學(xué)生學(xué)習(xí)積極性下降。因此在教學(xué)過程中刪掉一些陳舊過時(shí)的內(nèi)容，及時(shí)補(bǔ)充和更新教學(xué)內(nèi)容，增添一些現(xiàn)代集成電路工藝學(xué)的前沿知識(shí)，特別是體現(xiàn)本學(xué)科專業(yè)特色的一些前沿知識(shí)，從而緊跟集成電路工藝學(xué)的前沿，給學(xué)生提供充分的科學(xué)探索和求真的空間。③注重課程與專業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域間的聯(lián)系；專業(yè)課可理解為某一學(xué)科的基礎(chǔ)課程，是通向?qū)W科廣闊領(lǐng)域的橋梁。它的基本功能是引導(dǎo)學(xué)生明確學(xué)科專業(yè)發(fā)展方向，使其在日后的學(xué)習(xí)工作中能自如的在該學(xué)科專業(yè)的深度和廣度上鉆研、拓展。因此在講授課程各部分內(nèi)容時(shí)，電子科學(xué)專業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域緊密相連。例如針對(duì)硅片生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域，在課程講授過程中可適當(dāng)加入集成電路制造技術(shù)的應(yīng)用熱點(diǎn)以及在IC行業(yè)中的應(yīng)用等方面的內(nèi)容，使該專業(yè)的學(xué)生了解所學(xué)課程內(nèi)容在該領(lǐng)域的應(yīng)用、研究熱點(diǎn)及發(fā)展前景。

3.2.2 教學(xué)方法 ①利用現(xiàn)代教育技術(shù)的各種多媒體技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)技術(shù)進(jìn)行教學(xué)，例如投影、幻燈、錄像等多媒體資料，充分發(fā)揮其信息容量大、方便快捷、形象直觀、教學(xué)效率高的優(yōu)勢(shì)。這樣使用這些教學(xué)工具，既使教師能方便清楚地講授專業(yè)課中的各種圖片資料內(nèi)容，又省去了教師課堂現(xiàn)場(chǎng)作圖的時(shí)間，在有限的時(shí)間內(nèi)能講授更多的內(nèi)容，提高了講課的信息量。因此教師要積極制作教學(xué)課件、開發(fā)利用網(wǎng)絡(luò)上豐富的信息資源，下載適合學(xué)生閱讀的科研論文，并推薦給學(xué)生參考。這是開拓學(xué)生視野，培養(yǎng)學(xué)生自學(xué)意識(shí)和科研意識(shí)的有效方法。②采用講座與講授相結(jié)合的教學(xué)方法。在進(jìn)行基礎(chǔ)理論教學(xué)的適當(dāng)時(shí)機(jī)，安排集成電路方面科技知識(shí)的專題講座，穿插現(xiàn)代集成電路科技知識(shí)，使學(xué)生既強(qiáng)化基礎(chǔ)理論訓(xùn)練，又熟悉了解較多的現(xiàn)代集成電路科技知識(shí)，激發(fā)學(xué)習(xí)興趣，培養(yǎng)學(xué)生的科研意識(shí)。

3.2.3 教學(xué)目標(biāo) 在集成電路課程改革中，把教學(xué)目標(biāo)從以科學(xué)知識(shí)教育為主轉(zhuǎn)變?yōu)閷?shí)現(xiàn)科學(xué)教育和人文教育的融合，培養(yǎng)敢于創(chuàng)新、善于思索、具有團(tuán)隊(duì)協(xié)作精神的21世紀(jì)新型人才。長(zhǎng)期以來，我國(guó)大學(xué)文、理、工分校，存在著科學(xué)教育與人文教育的脫離，造成理工科生的人文文化知識(shí)和文科生的科學(xué)常識(shí)知之甚少。針對(duì)電子科學(xué)與技術(shù)的工科學(xué)生，應(yīng)在進(jìn)行科學(xué)知識(shí)教育的同時(shí)注重培養(yǎng)其人文精神，例如在講解集成電路課程中的科學(xué)概念、原理、方法時(shí)可提到發(fā)現(xiàn)科學(xué)規(guī)律的動(dòng)機(jī)，提到科學(xué)家如何通過艱苦的努力甚至犧牲生命取得創(chuàng)新，以及這些成果的應(yīng)用對(duì)社會(huì)可能造成的影響等，從而使之潛移默化地對(duì)學(xué)生進(jìn)行自然的而不是勉強(qiáng)的人文教育。

篇（3）

1.引言

21世紀(jì)是科技飛速發(fā)展的世紀(jì)，集成電路制造業(yè)是一項(xiàng)戰(zhàn)略性的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，《集成電路工藝》是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)重要的專業(yè)課，其目的是使學(xué)生學(xué)習(xí)和掌握VLSI的主要工藝技術(shù)與原理，熟悉工藝設(shè)備的特點(diǎn)，培養(yǎng)工藝設(shè)計(jì)及解決工藝問題的能力。課程具有實(shí)踐性很強(qiáng)、理論與實(shí)踐結(jié)合緊密的特點(diǎn)，為學(xué)生以后進(jìn)行工程設(shè)計(jì)和科研工作打下良好基礎(chǔ)。本課程的目的是使學(xué)生對(duì)微電子關(guān)鍵工藝及其原理有較為完整和系統(tǒng)的概念，并具有一定工藝設(shè)計(jì)、分析和解決工藝問題的能力。結(jié)合多年教學(xué)工作實(shí)際，我提出了幾點(diǎn)教學(xué)改革設(shè)想［1］［2］。

2.教學(xué)內(nèi)容的選取

2.1教材的選取。

本課程首選教材是《硅集成電路工藝》。該書有三個(gè)優(yōu)點(diǎn)：一是內(nèi)容全面豐富。不僅詳細(xì)介紹了芯片制造中的各項(xiàng)關(guān)鍵工藝，而且介紹了支持這些工藝的設(shè)備，以及每一道工藝的質(zhì)量檢測(cè)和故障排除。二是工藝技術(shù)先進(jìn)。該書吸收了當(dāng)今最發(fā)達(dá)技術(shù)資料，如化學(xué)機(jī)械拋光、淺槽隔離等工藝，因此本教材是一本很全面、很先進(jìn)和可讀性非常強(qiáng)的專業(yè)書籍。

2.2教學(xué)內(nèi)容的選取。

本課程的目的是使學(xué)生掌握半導(dǎo)體芯片制造的工藝和基本原理，并具有一定的工藝設(shè)計(jì)和分析能力。本課程32學(xué)時(shí)，而教材內(nèi)容章節(jié)很多，所以課堂授課內(nèi)容需要精心選擇。一方面，選擇性地使用教材內(nèi)容。對(duì)非關(guān)鍵工藝，如教材中的4―6章主要介紹半導(dǎo)體制造中的空穴及缺陷等內(nèi)容，要舍棄，可供學(xué)生課后自己閱讀。另一方面，查閱相關(guān)資料，對(duì)教材內(nèi)容做必要的補(bǔ)充。由于教材側(cè)重技術(shù)介紹，在工藝原理方面涉及甚少，作為電子科學(xué)技術(shù)專業(yè)的本科生，有必要掌握關(guān)鍵工藝的物理基礎(chǔ)和原理，因此任課老師需要廣泛查閱相關(guān)資料，對(duì)教材內(nèi)容做必要的、有益的補(bǔ)充。如離子注入摻雜工藝，選用的教材僅作為一節(jié)簡(jiǎn)單介紹，其基礎(chǔ)和原理更是少之又少，必須找出相應(yīng)詳細(xì)的介紹。再者，氧化過程中雜質(zhì)的再分布對(duì)器件特性影響是不容忽視的，工藝過程需要考慮，也需要做相應(yīng)補(bǔ)充，《集成電路工藝基礎(chǔ)》中這部分內(nèi)容有較大價(jià)值［3］。

3.豐富多彩的教學(xué)方式

3.1多媒體教學(xué)，事半功倍。

多媒體教學(xué)方式如今已廣泛使用，在本課程教學(xué)中使用多媒體教學(xué)符合教學(xué)內(nèi)容特點(diǎn)的要求，因?yàn)橛写罅康墓に嚵鞒毯凸に噷?shí)施后的硅片剖面圖，只有通過多媒體才能使學(xué)生有直觀、清楚的認(rèn)識(shí)。教材中提供了大量結(jié)構(gòu)剖面圖和設(shè)備圖，如果完全靠老師板書，教學(xué)內(nèi)容和效果將不易理解，而采用多媒體教學(xué)則能達(dá)到事半功倍的效果。

3.2教學(xué)互動(dòng)，讓學(xué)生走上講臺(tái)。

教學(xué)互動(dòng)非常重要。學(xué)生對(duì)動(dòng)態(tài)和前沿比較感興趣，易激發(fā)其求知欲，抓住學(xué)生這一特點(diǎn)，可以給學(xué)生布置幾個(gè)與集成電路工藝動(dòng)態(tài)和前沿相關(guān)的題目，讓學(xué)生課后查閱、整理資料，寫成專題小論文，還可開設(shè)專題小論壇，每一專題請(qǐng)一位有興趣的同學(xué)制作課件在課堂上給大家講解。這種方式將課堂時(shí)間和空間進(jìn)行延伸，使學(xué)生由課堂被動(dòng)聽講變?yōu)檎n后主動(dòng)學(xué)習(xí)、消化。這樣一方面能培養(yǎng)學(xué)生通過網(wǎng)絡(luò)學(xué)習(xí)工藝知識(shí)的習(xí)慣，并在不斷查閱資料中積累、豐富了專業(yè)知識(shí)。另一方面能鍛煉學(xué)生走上講臺(tái)“準(zhǔn)教師”的思維能力和語(yǔ)言表達(dá)能力。

3.3加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)教學(xué)，理論用于實(shí)踐。

在教學(xué)過程中，要堅(jiān)持理論和實(shí)踐相結(jié)合的原則。建議開設(shè)最基本的半導(dǎo)體平面工藝實(shí)驗(yàn)，如氧化、擴(kuò)散、離子注入、光刻沉積。實(shí)驗(yàn)要求每組學(xué)生用拋光硅片，通過氧化、光刻、等工序制備晶體管，是一個(gè)典型的綜合性、研究型實(shí)驗(yàn)。通過實(shí)驗(yàn)教學(xué)，學(xué)生既能培養(yǎng)動(dòng)手能力，又能掌握科學(xué)的分析問題的方法，加深對(duì)半導(dǎo)體平面工藝技術(shù)和原理的理解，激發(fā)學(xué)習(xí)興趣。本課程在大學(xué)三年級(jí)下學(xué)期開設(shè)。

3.4將專家學(xué)者請(qǐng)進(jìn)高校課堂。

我們充分利用與國(guó)內(nèi)外高等院校和科研單位進(jìn)行研究合作與學(xué)術(shù)交流的同時(shí)，在專業(yè)課授課過程中，還邀請(qǐng)有一定知名度的專家學(xué)者來我校作專題學(xué)術(shù)報(bào)告。由于他們長(zhǎng)期從事某一領(lǐng)域的科學(xué)研究，十分熟悉該領(lǐng)域的最新發(fā)展趨勢(shì)，因此可以系統(tǒng)地將這些信息傳遞給學(xué)生。這樣做不僅大大擴(kuò)充了學(xué)生的知識(shí)面，提高了他們的思維能力，而且進(jìn)一步激發(fā)了他們的專業(yè)課學(xué)習(xí)熱情和強(qiáng)烈的進(jìn)取心。近五年來，我們先后邀請(qǐng)包括中科院半導(dǎo)體等單位多名專家為我校的客座教授或兼職教授，分別做了關(guān)于微電子方面的多場(chǎng)專題學(xué)術(shù)報(bào)告，均受到了廣大教師與學(xué)生的一致好評(píng)。

4.結(jié)語(yǔ)

《集成電路工藝》是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)本科生的一門重要的專業(yè)課程，本課程的目的是使學(xué)生掌握集成電路制造工藝和基本原理。學(xué)生專業(yè)知識(shí)和能力的獲取，一方面是通過將理論應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)來驗(yàn)證和強(qiáng)化，另一方面通過理論課學(xué)習(xí)獲得。通過開發(fā)多媒體教學(xué)軟件，精心選擇優(yōu)秀教材、及時(shí)更新教學(xué)內(nèi)容、開設(shè)綜合性實(shí)驗(yàn)、布置設(shè)計(jì)性作業(yè)、安排專題報(bào)告、改革考核方式等環(huán)節(jié)，提高課程教學(xué)質(zhì)量，培養(yǎng)具有創(chuàng)新能力、滿足21世紀(jì)所需的專業(yè)技術(shù)人才。

參考文獻(xiàn)：

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二、針對(duì)企業(yè)要求的版圖設(shè)計(jì)教學(xué)規(guī)劃

1.數(shù)字版圖設(shè)計(jì)。數(shù)字集成電路版圖設(shè)計(jì)是由自動(dòng)布局布線工具結(jié)合版圖驗(yàn)證工具實(shí)現(xiàn)的。自動(dòng)布局布線工具加載準(zhǔn)備好的由verilog程序經(jīng)過DC綜合后的網(wǎng)表文件與Foundry提供的數(shù)字邏輯標(biāo)準(zhǔn)單元版圖庫(kù)文件和I/O的庫(kù)文件，它包括物理庫(kù)、時(shí)序庫(kù)、時(shí)序約束文件。在數(shù)字版圖設(shè)計(jì)時(shí)，一是熟練使用自動(dòng)布局布線工具如Encounter、Astro等，鑒于很少有學(xué)校開設(shè)這門課程，可以推薦學(xué)生自學(xué)或是參加專業(yè)培訓(xùn)。二是數(shù)字邏輯標(biāo)準(zhǔn)單元版圖庫(kù)的設(shè)計(jì)，可以由Foundry廠提供，也可由公司自定制標(biāo)準(zhǔn)單元版圖庫(kù)，因此對(duì)于初學(xué)者而言設(shè)計(jì)好標(biāo)準(zhǔn)單元版圖使其符合行業(yè)規(guī)范至關(guān)重要。2.模擬版圖設(shè)計(jì)。在模擬集成電路設(shè)計(jì)中，無論是CMOS還是雙極型電路，主要目標(biāo)并不是芯片的尺寸，而是優(yōu)化電路的性能，匹配精度、速度和各種功能方面的問題。作為版圖設(shè)計(jì)者，更關(guān)心的是電路的性能，了解電壓和電流以及它們之間的相互關(guān)系，應(yīng)當(dāng)知道為什么差分對(duì)需要匹配，應(yīng)當(dāng)知道有關(guān)信號(hào)流、降低寄生參數(shù)、電流密度、器件方位、布線等需要考慮的問題。模擬版圖是在注重電路性能的基礎(chǔ)上去優(yōu)化尺寸的，面積在某種程度上說仍然是一個(gè)問題，但不再是壓倒一切的問題。在模擬電路版圖設(shè)計(jì)中，性能比尺寸更重要。另外，模擬集成電路版圖設(shè)計(jì)師作為前端電路設(shè)計(jì)師的助手，經(jīng)常需要與前端工程師交流，看是否需要版圖匹配、布線是否合理、導(dǎo)線是否有大電流流過等，這就要求版圖設(shè)計(jì)師不僅懂工藝而且能看懂模擬電路。3.逆向版圖設(shè)計(jì)。集成電路逆向設(shè)計(jì)其實(shí)就是芯片反向設(shè)計(jì)。它是通過對(duì)芯片內(nèi)部電路的提取與分析、整理，實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片技術(shù)原理、設(shè)計(jì)思路、工藝制造、結(jié)構(gòu)機(jī)制等方面的深入洞悉。因此，對(duì)工藝了解的要求更高。反向設(shè)計(jì)流程包括電路提取、電路整理、分析仿真驗(yàn)證、電路調(diào)整、版圖提取整理、版圖繪制驗(yàn)證及后仿真等。設(shè)計(jì)公司對(duì)反向版圖設(shè)計(jì)的要求較高，版圖設(shè)計(jì)工作還涵蓋了電路提取與整理，這就要求版圖設(shè)計(jì)師不僅要深入了解工藝流程；而且還要熟悉模擬電路和數(shù)字標(biāo)準(zhǔn)單元電路工作原理。

篇（5）

浙江省教育改革走在全國(guó)前列，從2014屆開始，通用技術(shù)中的《電子控制技術(shù)》作為高考的選考內(nèi)容，這對(duì)于全省通用技術(shù)教師教學(xué)來說是個(gè)嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。大多數(shù)教師不是電子技術(shù)專業(yè)出身，有些從物理教師轉(zhuǎn)行過來，更甚的是從生物、化學(xué)、文科等教師中轉(zhuǎn)行過來，對(duì)電子技術(shù)專業(yè)知識(shí)相當(dāng)?shù)膮T乏，且現(xiàn)使用的蘇教版《電子控制技術(shù)》教材，沒有經(jīng)過教學(xué)實(shí)踐檢驗(yàn)，所以教材中有些錯(cuò)誤的內(nèi)容沒有訂正。這樣情況下，我們有必要對(duì)555集成電路有全面的正確認(rèn)識(shí)，并能分析其在電路中的工作原理和實(shí)際應(yīng)用。

一、555集成電路命名規(guī)則和常見封裝形式

555集成電路芯片的生產(chǎn)廠家眾多，常見的有NE555、CA555、MC7555、CB7555.那它們的命名規(guī)則是怎樣的呢？

如果用TTL工藝制作的稱為雙極型集成電路，用CMOS工藝制作的稱為CMOS集成電路。所有雙極型集成電路型號(hào)最后3位數(shù)碼都是555；所有CMOS產(chǎn)品型號(hào)最后4位數(shù)碼都命名為7555；如果一個(gè)芯片上集成兩個(gè)555并共用一組電源叫雙定時(shí)器。雙極型雙定時(shí)器產(chǎn)品命名為556；CMOS雙定時(shí)器命名為7556。雙極型和CMOS型555定時(shí)器的功能和外部引腳的排列完全相同。

雙極型的555集成電路工作電壓為4.5V―15V，第3腳輸出（驅(qū)動(dòng)電流）可達(dá)200mA，可直接驅(qū)動(dòng)小型繼電器，但缺點(diǎn)是靜態(tài)電流也偏大。

CMOS型的7555集成電路工作電壓2―18V，靜態(tài)電流很小，只有80uA，特別適合于使用電池、低電源電壓場(chǎng)合。但7555的第3腳驅(qū)動(dòng)電流很小，只有1mA，不能直接驅(qū)動(dòng)繼電器，需要通過三極管的放大來驅(qū)動(dòng)繼電器。

二、555芯片等效電路結(jié)構(gòu)及工作原理

（1）555等效功能電路圖。

雖然很多半導(dǎo)體器件公司都生產(chǎn)各自型號(hào)的555集成電路，但其內(nèi)部電路大同小異，且都具有相同的引腳功能端。

555集成電路內(nèi)部等效電路圖

555集成電路由3個(gè)阻值為5kΩ的電阻組成的分壓器（555由此得名）、兩個(gè)電壓比較器C1和C2、基本RS觸發(fā)器、放電三極管TD和緩沖反相器G3組成。虛線邊沿標(biāo)注的數(shù)字為管腳號(hào)。其中1腳為接地端；2腳為低電平觸發(fā)端，由此輸入低電平觸發(fā)脈沖；6腳為高電平觸發(fā)端，由此輸入高電平觸發(fā)脈沖；4腳為復(fù)位端，輸入負(fù)脈沖（或使其電壓低于0.7V）可使555定時(shí)器直接復(fù)位；5腳為電壓控制端，在此端外加電壓可以改變比較器的參考電壓，不用時(shí)，經(jīng)0.01uF的電容接地，以防止引入干擾；7腳為放電端，555定時(shí)器輸出低電平時(shí)，放電晶體管TD導(dǎo)通，外接電容元件通過TD放電；3腳為輸出端，輸出高電壓約低于電源電壓1V―3V，輸出電流可達(dá)200mA，因此可直接驅(qū)動(dòng)繼電器、發(fā)光二極管、指示燈等；8腳為電源端，可在5V―15V范圍內(nèi)使用。

（2）555集成電路工作原理分析

5腳經(jīng)0.01uF電容接地，以防止引入干擾；比較器C1比較電壓為2/3VCC，C2的比較電壓為1/3VCC。

①當(dāng)R（__）=0時(shí)，Q（__）=1，uo=0，T飽和導(dǎo)通。

②當(dāng)R（__）=1、UTH>2VCC/3、UTR（____）>VCC/3時(shí)，C1=0、C2=1，Q（__）=1、Q=0，uo=0，T飽和導(dǎo)通。

③當(dāng)R（__）=1、UTHVCC/3時(shí)，C1=1、C2=1，Q（__）、Q不變，uo不變，T狀態(tài)不變。

④當(dāng)R（__）=1、UTH

三、教材555電路案例分析

案例1.雞蛋孵化溫度控制器的設(shè)計(jì)電路圖如下（教材P99頁(yè)）

對(duì)于這個(gè)電路圖根據(jù)我們之前對(duì)555原理的分析，發(fā)現(xiàn)教材對(duì)該電路的設(shè)計(jì)和分析有錯(cuò)誤：

（1）圖中三個(gè)箭頭處應(yīng)加上圓點(diǎn)，表示電路是連接的。

（2）將 CB7555 改為 NE555，因CB7555 是 CMOS 型的集成電路，輸出電流只有1mA，驅(qū)動(dòng)能力不夠。NE55是雙極型集成電路，能輸出200mA，能直接驅(qū)動(dòng)繼電器。

（3）文字描述有誤。這里的 555 是工作于雙穩(wěn)態(tài)。

把熱敏電阻Rt1放入盛有37℃的水的燒杯中，調(diào)節(jié)可變電阻Rp1，使NE555的2腳電壓低于VCC/3，6腳的電壓低于2VCC/3，3腳輸出高電平，點(diǎn)亮V1，繼電器觸點(diǎn)J-1閉合，電熱器開始加熱。

案例2 555電路組成的水箱閉環(huán)電子控制系統(tǒng)電路圖（教材P104頁(yè)）

電路分析如下：

當(dāng)水位低于b點(diǎn)時(shí)，555電路中的AC和BC都斷開，所以2腳和6腳輸入都是低電平，由555邏輯功能表分析可知，3腳輸出高電平，V4飽和導(dǎo)通，繼電器J吸合，電動(dòng)機(jī)M工作抽水。由于3腳高電平，所以V1導(dǎo)通，打水指示燈亮。7腳輸出狀態(tài)是高電平V2截止，有水指示燈不亮。

電動(dòng)機(jī)M抽水時(shí)，水位上升，如果在ab之間，相當(dāng)于BC導(dǎo)通，AC斷開，則2腳輸入為高電平（大于VCC/3），6腳為低電平（小于2VCC/3），由555邏輯功能表分析可知，3腳輸出狀態(tài)不變，由原來的狀態(tài)決定，即3腳輸出高電平，V4飽和導(dǎo)通，繼電器J吸合，電動(dòng)機(jī)M還是繼續(xù)工作抽水；由于3腳高電平，所以V1導(dǎo)通，打水指示燈亮。7腳輸出狀態(tài)是高電平V2截止，有水指示燈不亮。

當(dāng)水位到達(dá)a時(shí)，AC接通，6腳主電平（大于2VCC/3），則3腳和7腳輸出低電平，則V4和V1截止，繼電器J斷開，電動(dòng)機(jī)M停止抽水，V1打水指示燈滅。由于7腳低電平，則V2導(dǎo)通，則有水指示燈亮。

當(dāng)水位下降時(shí)，AC斷開，BC接通，則6腳輸入是低電平（小于2VCC/3），而2腳輸入是高電平（大于VCC/3），3腳輸出狀態(tài)保持不變，即輸出為低電平，抽水機(jī)不工作。

當(dāng)水位下降到b時(shí)，電路工作情況跟（1）一樣，抽水機(jī)又工始工作，又重復(fù)前面的周期運(yùn)行情況。

以上是對(duì)教材兩例的糾錯(cuò)和電路原理分析，但555電路的應(yīng)用有很多種，如接成單穩(wěn)態(tài)電路，可用在555觸摸定時(shí)開關(guān)和定時(shí)器；還可以外接電容器，組成多諧振蕩器，我們教師首先掌握555電路等效功能電路和基本的邏輯關(guān)系，對(duì)于實(shí)際電路也可以通過上面例子的分析方法，相信一定能理解其他555電路工作原理的，在電子控制技術(shù)教學(xué)中會(huì)更加得心應(yīng)用，心中有底氣。

篇（6）

中圖分類號(hào)：G642.0 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號(hào)：1674-9324（2015）34-0076-02

以集成電路為龍頭的信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)是國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中的重要基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性支柱產(chǎn)業(yè)。國(guó)家高度重視集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，2000年，國(guó)務(wù)院頒發(fā)了《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知》（18號(hào)文件），2011年1月28日，國(guó)務(wù)院了《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知》，2011年12月24日，工業(yè)和信息化部印發(fā)了《集成電路產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)有了突飛猛進(jìn)的發(fā)展。然而，我國(guó)的集成電路設(shè)計(jì)水平還遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平。2013年，全國(guó)進(jìn)口產(chǎn)品金額最大的類別是集成電路芯片，超過石油進(jìn)口。2014年3月5日，國(guó)務(wù)院總理在兩會(huì)上的政府工作報(bào)告中，首次提到集成電路（芯片）產(chǎn)業(yè)，明確指出，要設(shè)立新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新平臺(tái)，在新一代移動(dòng)通信、集成電路、大數(shù)據(jù)、先進(jìn)制造、新能源、新材料等方面趕超先進(jìn)，引領(lǐng)未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展。2014年6月，國(guó)務(wù)院頒布《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，加快推進(jìn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，10月底1200億元的國(guó)家集成電路投資基金成立。集成電路設(shè)計(jì)人才是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要保障。2010年，我國(guó)芯片設(shè)計(jì)人員達(dá)不到需求的10%，集成電路設(shè)計(jì)人才的培養(yǎng)已成為當(dāng)前國(guó)內(nèi)高等院校的一個(gè)迫切任務(wù)[1]。為滿足市場(chǎng)對(duì)集成電路設(shè)計(jì)人才的需求，2001年，教育部開始批準(zhǔn)設(shè)置“集成電路設(shè)計(jì)與集成系統(tǒng)”本科專業(yè)[2]。

我校2002年開設(shè)電子科學(xué)與技術(shù)本科專業(yè)，期間，由于專業(yè)調(diào)整，暫停招生。2012年，電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)恢復(fù)本科招生，主要專業(yè)方向?yàn)榧呻娐吩O(shè)計(jì)。為提高人才培養(yǎng)質(zhì)量，提出了集成電路設(shè)計(jì)專業(yè)創(chuàng)新型人才培養(yǎng)模式[3]。本文根據(jù)培養(yǎng)模式要求，從課程體系設(shè)置、課程內(nèi)容優(yōu)化兩個(gè)方面對(duì)集成電路設(shè)計(jì)方向的專業(yè)課程體系進(jìn)行改革和優(yōu)化。

一、專業(yè)課程體系存在的主要問題

1.不太重視專業(yè)基礎(chǔ)課的教學(xué)。“專業(yè)物理”、“固體物理”、“半導(dǎo)體物理”和“晶體管原理”是集成電路設(shè)計(jì)的專業(yè)基礎(chǔ)課，為后續(xù)更好地學(xué)習(xí)專業(yè)方向課提供理論基礎(chǔ)。如果基礎(chǔ)不打扎實(shí)，將導(dǎo)致學(xué)生在學(xué)習(xí)專業(yè)課程時(shí)存在較大困難，更甚者將導(dǎo)致其學(xué)業(yè)荒廢。例如，如果沒有很好掌握MOS晶體管的結(jié)構(gòu)、工作原理和工作特性，學(xué)生在后面學(xué)習(xí)CMOS模擬放大器和差分運(yùn)放電路時(shí)將會(huì)是一頭霧水，不可能學(xué)得懂。但國(guó)內(nèi)某些高校將這些課程設(shè)置為選修課，開設(shè)較少課時(shí)量，學(xué)生不能全面、深入地學(xué)習(xí)；有些院校甚至不開設(shè)這些課程[4]。比如，我校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)就沒有開設(shè)“晶體管原理”這門課程，而是將其內(nèi)容合并到“模擬集成電路原理與設(shè)計(jì)”這門課程中去。

2.課程開設(shè)順序不合理。專業(yè)基礎(chǔ)課、專業(yè)方向課和寬口徑專業(yè)課之間存在環(huán)環(huán)相扣的關(guān)系，前者是后者的基礎(chǔ)，后者是前者理論知識(shí)的具體應(yīng)用。并且，在各類專業(yè)課的內(nèi)部也存在這樣的關(guān)系。如果在前面的知識(shí)沒學(xué)好的基礎(chǔ)上，開設(shè)后面的課程，將直接導(dǎo)致學(xué)生學(xué)不懂，嚴(yán)重影響其學(xué)習(xí)積極性。例如：在某些高校的培養(yǎng)計(jì)劃中，沒有開設(shè)“半導(dǎo)體物理”，直接開設(shè)“晶體管原理”，造成了學(xué)生在學(xué)習(xí)“晶體管原理”課程時(shí)沒有“半導(dǎo)體物理”課程的基礎(chǔ)，很難進(jìn)入狀態(tài)，學(xué)習(xí)興趣受到嚴(yán)重影響[5]。具體比如在學(xué)習(xí)MOS晶體管的工作狀態(tài)時(shí)，如果沒有半導(dǎo)體物理中的能帶理論，就根本沒辦法掌握閥值電壓的概念，以及閥值電壓與哪些因素有關(guān)。

3.課程內(nèi)容理論性太強(qiáng)，嚴(yán)重打擊學(xué)生積極性。“專業(yè)物理”、“固體物理”、“半導(dǎo)體物理”和“晶體管原理”這些專業(yè)基礎(chǔ)課程本身理論性就很強(qiáng)，公式推導(dǎo)較多，并且要求學(xué)生具有較好的數(shù)學(xué)基礎(chǔ)。而我們有些教師在授課時(shí)，過分強(qiáng)調(diào)公式推導(dǎo)以及電路各性能參數(shù)的推導(dǎo)，而不是側(cè)重于對(duì)結(jié)構(gòu)原理、工作機(jī)制和工作特性的掌握，使得學(xué)生（尤其是數(shù)學(xué)基礎(chǔ)較差的學(xué)生）學(xué)習(xí)起來很吃力，學(xué)習(xí)的積極性受到極大打擊[6]。

二、專業(yè)課程體系改革的主要措施

1.“4+3+2”專業(yè)課程體系。形成“4+3+2”專業(yè)課程體系模式：“4”是專業(yè)基礎(chǔ)課“專業(yè)物理”、“半導(dǎo)體物理”、“固體物理”和“晶體管原理”；“3”是專業(yè)方向課“集成電路原理與設(shè)計(jì)”、“集成電路工藝”和“集成電路設(shè)計(jì)CAD”；“2”是寬口徑專業(yè)課“集成電路應(yīng)用”、“集成電路封裝與測(cè)試”，實(shí)行主講教師負(fù)責(zé)制。依照整體優(yōu)化和循序漸進(jìn)的原則，根據(jù)學(xué)習(xí)每門專業(yè)課所需掌握的基礎(chǔ)知識(shí)，環(huán)環(huán)相扣，合理設(shè)置各專業(yè)課的開課先后順序，形成先專業(yè)基礎(chǔ)課，再專業(yè)方向課，然后寬口徑專業(yè)課程的開設(shè)模式。

我校物理與電子科學(xué)學(xué)院本科生實(shí)行信息科學(xué)大類培養(yǎng)模式，也就是三個(gè)本科專業(yè)大學(xué)一年級(jí)、二年級(jí)統(tǒng)一開設(shè)課程，主要開設(shè)高等數(shù)學(xué)、線性代數(shù)、力學(xué)、熱學(xué)、電磁學(xué)和光學(xué)等課程，重在增強(qiáng)學(xué)生的數(shù)學(xué)、物理等基礎(chǔ)知識(shí)，為各專業(yè)后續(xù)專業(yè)基礎(chǔ)課、專業(yè)方向課的學(xué)習(xí)打下很好的理論基礎(chǔ)。從大學(xué)三年級(jí)開始，分專業(yè)開設(shè)專業(yè)課程。為了均衡電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)學(xué)生各學(xué)期的學(xué)習(xí)負(fù)擔(dān)，大學(xué)三年級(jí)第一學(xué)期開設(shè)“理論物理導(dǎo)論”和“固體物理與半導(dǎo)體物理”兩門專業(yè)基礎(chǔ)課程。其中“固體物理與半導(dǎo)體物理”這門課程是將固體物理知識(shí)和半導(dǎo)體物理知識(shí)結(jié)合在一起，課時(shí)量為64學(xué)時(shí)，由2位教師承擔(dān)教學(xué)任務(wù)，其目的是既能讓學(xué)生掌握后續(xù)專業(yè)方向課學(xué)習(xí)所需要的基礎(chǔ)知識(shí)，又不過分增加學(xué)生的負(fù)擔(dān)。大學(xué)三年級(jí)第二學(xué)期開設(shè)“電子器件基礎(chǔ)”、“集成電路原理與設(shè)計(jì)”、“集成電路設(shè)計(jì)CAD”和“微電子工藝學(xué)”等專業(yè)課程。由于“電子器件基礎(chǔ)”是其他三門課程學(xué)習(xí)的基礎(chǔ)，為了保證學(xué)習(xí)的延續(xù)性，擬將“電子器件基礎(chǔ)”這門課程的開設(shè)時(shí)間定為學(xué)期的1～12周，而其他3門課程的開課時(shí)間從第6周開始，從而可以保證學(xué)生在學(xué)習(xí)專業(yè)方向課時(shí)具有高的學(xué)習(xí)效率和大的學(xué)習(xí)興趣。另外，“集成電路原理與設(shè)計(jì)”課程設(shè)置96學(xué)時(shí)，由2位教師承擔(dān)教學(xué)任務(wù)。并且，先講授“CMOS模擬集成電路原理與設(shè)計(jì)”的內(nèi)容，課時(shí)量為48學(xué)時(shí)，開設(shè)時(shí)間為6～17周；再講授“CMOS數(shù)字集成電路原理與設(shè)計(jì)”的內(nèi)容，課時(shí)量為48學(xué)時(shí)，開設(shè)時(shí)間為8～19周。大學(xué)四年級(jí)第一學(xué)期開設(shè)“集成電路應(yīng)用”和“集成電路封裝與測(cè)試技術(shù)”等寬口徑專業(yè)課程，并設(shè)置其為選修課，這樣設(shè)置的目的在于：對(duì)于有意向考研的同學(xué)，可以減少學(xué)習(xí)壓力，專心考研；同時(shí)，對(duì)于要找工作的同學(xué)，可以更多了解專業(yè)方面知識(shí)，為找到好工作提供有力保障。

2.優(yōu)化專業(yè)課程的教學(xué)內(nèi)容。由于我校物理與電子科學(xué)學(xué)院本科生采用信息科學(xué)大類培養(yǎng)模式，專業(yè)課程要在大學(xué)三年級(jí)才能開始開設(shè)，時(shí)間緊湊。為實(shí)現(xiàn)我校集成電路設(shè)計(jì)人才培養(yǎng)目標(biāo)，培養(yǎng)緊跟集成電路發(fā)展前沿、具有較強(qiáng)實(shí)用性和創(chuàng)新性的集成電路設(shè)計(jì)人才，需要對(duì)集成電路設(shè)計(jì)方向?qū)I(yè)課程的教學(xué)內(nèi)容進(jìn)行優(yōu)化。其學(xué)習(xí)重點(diǎn)應(yīng)該是掌握基礎(chǔ)的電路結(jié)構(gòu)、電路工作特性和電路分析基本方法等，而不是糾結(jié)于電路各性能參數(shù)的推導(dǎo)。

在“固體物理與半導(dǎo)體物理”和“晶體管原理”等專業(yè)基礎(chǔ)課程教學(xué)中，要盡量避免冗長(zhǎng)的公式及煩瑣的推導(dǎo)，側(cè)重于對(duì)基本原理及特性的物理意義的學(xué)習(xí)，以免削弱學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣。MOS器件是目前集成電路設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)，因此，在“晶體管原理”中應(yīng)當(dāng)詳細(xì)講授MOS器件的結(jié)構(gòu)、工作原理和特性，而雙極型器件可以稍微弱化些。

對(duì)于專業(yè)方向課程，教師不但要講授集成電路設(shè)計(jì)方面的知識(shí)，也要側(cè)重于集成電路設(shè)計(jì)工具的使用，以及基本的集成電路版圖知識(shí)、集成電路工藝流程，尤其是CMOS工藝等相關(guān)內(nèi)容的教學(xué)。實(shí)驗(yàn)實(shí)踐教學(xué)是培養(yǎng)學(xué)生的知識(shí)應(yīng)用能力、實(shí)際動(dòng)手能力、創(chuàng)新能力和社會(huì)適應(yīng)能力的重要環(huán)節(jié)。因此，在專業(yè)方向課程中要增加實(shí)驗(yàn)教學(xué)的課時(shí)量。例如，在“CMOS模擬集成電路原理與設(shè)計(jì)”課程中，總課時(shí)量為48學(xué)時(shí)不變，理論課由原來的38學(xué)時(shí)減少至36學(xué)時(shí)，實(shí)驗(yàn)教學(xué)由原來的10學(xué)時(shí)增加至12個(gè)學(xué)時(shí)。36學(xué)時(shí)的理論課包含了單級(jí)運(yùn)算放大器、差分運(yùn)算放大器、無源/有源電流鏡、基準(zhǔn)電壓源電路、開關(guān)電路等多種電路結(jié)構(gòu)。12個(gè)學(xué)時(shí)的實(shí)驗(yàn)教學(xué)中2學(xué)時(shí)作為EDA工具學(xué)習(xí)，留給學(xué)生10個(gè)學(xué)時(shí)獨(dú)自進(jìn)行電路設(shè)計(jì)。從而保證學(xué)生更好地理解理論課所學(xué)知識(shí)，融會(huì)貫通，有效地促進(jìn)教學(xué)效果，激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣。

三、結(jié)論

集成電路產(chǎn)業(yè)是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展與社會(huì)信息化的重要基礎(chǔ)，而集成電路設(shè)計(jì)人才是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。本文根據(jù)調(diào)研結(jié)果，分析目前集成電路設(shè)計(jì)本科專業(yè)課程體系存在的主要問題，結(jié)合我校實(shí)際情況，對(duì)我校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)集成電路設(shè)計(jì)方向的專業(yè)課程體系進(jìn)行改革，提出“4+3+2”專業(yè)課程體系，并對(duì)專業(yè)課程講授內(nèi)容進(jìn)行優(yōu)化。從而滿足我校集成電路設(shè)計(jì)專業(yè)創(chuàng)新型人才培養(yǎng)模式的要求，為培養(yǎng)實(shí)用創(chuàng)新型集成電路設(shè)計(jì)人才提供有力保障。

參考文獻(xiàn)：

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篇（7）

中圖分類號(hào)：G642.0 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號(hào)：1674-9324（2015）30-0070-02

21世紀(jì)被稱為信息時(shí)代，電子科學(xué)與技術(shù)在信息、能源、材料、航天、生命、環(huán)境、軍事和民用等科技領(lǐng)域?qū)@得更廣泛的應(yīng)用，必然導(dǎo)致電子科學(xué)與技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展。這種產(chǎn)業(yè)化趨勢(shì)反過來對(duì)本專業(yè)的鞏固、深化、提高和發(fā)展起到積極的促進(jìn)作用，也對(duì)人才的培養(yǎng)提出了更高的要求。因此，本文從人才的社會(huì)需求出發(fā)，結(jié)合我校實(shí)際情況，進(jìn)行了本科專業(yè)培養(yǎng)方案的改革探索，并詳細(xì)介紹了培養(yǎng)方案的制定情況。

一、人才的社會(huì)需求情況

目前，我校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的本科畢業(yè)生主要面向長(zhǎng)三角地區(qū)龐大的微電子、光電子、光伏和新能源行業(yè)，市場(chǎng)對(duì)專業(yè)人才的需求基本上是供不應(yīng)求的。但是也應(yīng)該注意到電子科學(xué)與技術(shù)產(chǎn)業(yè)的分布不均，分類較細(xì)，且發(fā)展變化較快。另外，電子科學(xué)與技術(shù)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)具有多樣性，既有勞動(dòng)密集型的大型企業(yè)、大公司，更多的是小公司和小企業(yè)；既有國(guó)有企業(yè)和私營(yíng)企業(yè)，更有合資、獨(dú)資的外企。因此，社會(huì)需求與本專業(yè)畢業(yè)生的供需矛盾還會(huì)繼續(xù)存在。

二、專業(yè)的培養(yǎng)目標(biāo)和定位

本專業(yè)培養(yǎng)具備微電子、光電子領(lǐng)域的寬厚專業(yè)基礎(chǔ)知識(shí)，熟練實(shí)驗(yàn)技能，能掌握電子材料、電子器件、微電子和光電子系統(tǒng)的新工藝、新技術(shù)研究開發(fā)和設(shè)計(jì)技能，有較強(qiáng)的工程實(shí)踐能力，能夠在該領(lǐng)域從事各種電子材料、元器件、光電材料及器件、集成電路的設(shè)計(jì)、制造和相應(yīng)的新產(chǎn)品、新技術(shù)、新工藝的研究、開發(fā)和管理工作工程技術(shù)人才。并且結(jié)合我校“大工程觀”人才培養(yǎng)特色，依據(jù)“卓越工程師”教育理念下工程技術(shù)型人才培養(yǎng)的原則，培養(yǎng)適應(yīng)微電子和新興光電行業(yè)乃至區(qū)域社會(huì)經(jīng)濟(jì)建設(shè)需求的工程技術(shù)型人才。

三、本科培養(yǎng)方案制定的思路

電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)培養(yǎng)方案參照工程教育認(rèn)證的要求，以及專業(yè)下設(shè)微電子、光電子材料與器件兩個(gè)本科培養(yǎng)方向的思路制定。注重培養(yǎng)學(xué)生的專業(yè)基礎(chǔ)知識(shí)和實(shí)踐工程能力，使畢業(yè)生能滿足長(zhǎng)三角地區(qū)微電子、光電子和新能源行業(yè)發(fā)展的需求。微電子方向的課程設(shè)置專注于電子材料與電子器件、集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)方面，光電子材料與器件方向則偏向于光電信息、光電材料與光電器件方面。

四、本科培養(yǎng)方案的改革探索

要實(shí)現(xiàn)電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的培養(yǎng)目標(biāo)，適應(yīng)電子信息產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，并結(jié)合我校學(xué)科發(fā)展方向和特色，對(duì)電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)本科人才培養(yǎng)方案進(jìn)行了研究，并對(duì)省內(nèi)外幾所高校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的培養(yǎng)方案進(jìn)行調(diào)研，最終形成了富有特色的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)人才培養(yǎng)方案，主要內(nèi)容如下：

1.培養(yǎng)方案的模塊化設(shè)計(jì)。在設(shè)計(jì)電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)本科培養(yǎng)方案的整體框架時(shí)，根據(jù)“加強(qiáng)基礎(chǔ)、拓寬專業(yè)、培養(yǎng)能力”和培養(yǎng)工程技術(shù)型人才的辦學(xué)理念下，專業(yè)培養(yǎng)方案分人文與社會(huì)科學(xué)、專業(yè)基礎(chǔ)和專業(yè)課三個(gè)模塊，下設(shè)微電子和光電子材料與器件兩個(gè)專業(yè)方向。學(xué)生在前兩年學(xué)習(xí)相同的課程，到大三時(shí)根據(jù)自己的興趣選擇專業(yè)方向，選修各自方向的專業(yè)課。由于兩個(gè)方向的不同培養(yǎng)要求，因此在專業(yè)基礎(chǔ)選修課、專業(yè)必修課和專業(yè)選修課方面設(shè)置限選模塊，每個(gè)專業(yè)方向必須修滿相應(yīng)的學(xué)分才能畢業(yè)。

2.改革專業(yè)基礎(chǔ)課程。專業(yè)基礎(chǔ)課程是為專業(yè)課程奠定基礎(chǔ)，因此，在保留了原有電子信息類專業(yè)通常所開設(shè)的電子類課程外，增加了與專業(yè)相關(guān)的課程，如EDA技術(shù)、通信原理、數(shù)字信號(hào)處理、物理光學(xué)、應(yīng)用光學(xué)、激光原理與技術(shù)等課程，刪減了原先與物理類相關(guān)的一些課程，如物理學(xué)史、原子物理、熱力學(xué)與統(tǒng)計(jì)物理學(xué)等，并刪減了一些計(jì)算機(jī)軟件類課程，如C++程序設(shè)計(jì)、計(jì)算機(jī)在材料科學(xué)中的應(yīng)用等。專業(yè)基礎(chǔ)選修課程分方向限選模塊，兩個(gè)專業(yè)方向?qū)?yīng)有不同的專業(yè)基礎(chǔ)選修課程。

3.優(yōu)化專業(yè)課程。專業(yè)課程是整個(gè)專業(yè)教育中的主干部分，微電子方向的課程設(shè)置緊緊圍繞半導(dǎo)體和集成電路設(shè)計(jì)方向，開設(shè)有集成電路設(shè)計(jì)、微電子工藝原理與技術(shù)、工藝與器件可靠性分析、半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)、現(xiàn)代電子材料及元器件、集成電路工藝與器件模擬等課程。光電子材料與器件方向圍繞光電材料和光纖通信方向，開設(shè)光電子材料與器件、光電檢測(cè)原理與技術(shù)、太陽(yáng)能電池原理與技術(shù)、光纖傳感原理與技術(shù)、光纖通信技術(shù)等課程。另外專業(yè)課程里面還設(shè)置有專業(yè)實(shí)驗(yàn)，通過加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)環(huán)節(jié)，訓(xùn)練學(xué)生的動(dòng)手操作能力，增強(qiáng)學(xué)生的理論知識(shí)。

五、與省內(nèi)外專業(yè)人才培養(yǎng)的區(qū)別

具有電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的各大高校分布在不同的地區(qū)，服務(wù)于不同的區(qū)域經(jīng)濟(jì)，這就要求專業(yè)學(xué)生的培養(yǎng)具有區(qū)域化、差異化。我們分析了杭州電子科技大學(xué)、浙江工業(yè)大學(xué)、蘇州大學(xué)、南京理工大學(xué)和徐州工程學(xué)院這五所不同地區(qū)、不同層次高校的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的培養(yǎng)方案。不僅使我們能學(xué)習(xí)到其他高校的先進(jìn)辦學(xué)理念、合理的課程設(shè)置體系，也可以發(fā)現(xiàn)與其他高校之間的差異。具體表現(xiàn)為以下幾個(gè)方面：

1.專業(yè)定位。各個(gè)學(xué)校的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)依據(jù)自身的師資力量、辦學(xué)條件、區(qū)域經(jīng)濟(jì)要求確定專業(yè)的發(fā)展定位。杭州電子科技大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)依托1個(gè)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、2個(gè)國(guó)家級(jí)實(shí)驗(yàn)教學(xué)示范中心、3個(gè)省部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，人才培養(yǎng)定位于能從事電子元器件、電子電路乃至電子集成系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和開發(fā)等方面工作的工程技術(shù)人才。浙江工業(yè)大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)主要培養(yǎng)光通信、電子電路系統(tǒng)、集成電路設(shè)計(jì)等方面的人才。蘇州大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)定位在培養(yǎng)能夠在電路與系統(tǒng)、集成電路與系統(tǒng)等領(lǐng)域從事各類系統(tǒng)級(jí)、板級(jí)和芯片級(jí)研發(fā)工作的高級(jí)工程技術(shù)人才。南京理工大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)主要是突出光電技術(shù)和微電子與信息處理學(xué)科的交叉和融合，以光電成像探測(cè)理論與技術(shù)及微電子理論與技術(shù)為專業(yè)特色。徐州工程學(xué)院的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)主要定位在培養(yǎng)能從事光電子材料與器件開發(fā)的工程技術(shù)人才。而我校的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)定位于服務(wù)長(zhǎng)三角地區(qū)半導(dǎo)體和新能源行業(yè)，培養(yǎng)能從事集成電路設(shè)計(jì)與開發(fā)、光電子材料與器件的研發(fā)等工作的工程技術(shù)人才。

2.課程體系。杭州電子科技大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)培養(yǎng)學(xué)生設(shè)計(jì)、開發(fā)電子元器件、電子電路系統(tǒng)、電子集成系統(tǒng)的能力，在課程設(shè)置上開設(shè)了通信電子電路、EDA技術(shù)、薄膜物理與技術(shù)、電子材料與電子器件、電子系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)踐、集成電路設(shè)計(jì)、嵌入式系統(tǒng)原理和應(yīng)用、現(xiàn)代DSP技術(shù)及應(yīng)用等專業(yè)課程。浙江工業(yè)大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)培養(yǎng)學(xué)生設(shè)計(jì)、開發(fā)電子電路系統(tǒng)、集成電路系統(tǒng)的能力，開設(shè)了電路原理、模電數(shù)電、通信電子線路、集成電路設(shè)計(jì)、光纖通信原理、光網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、數(shù)字信號(hào)處理等專業(yè)課程，以及電子線路CAD實(shí)驗(yàn)、單片機(jī)綜合實(shí)驗(yàn)、通信原理實(shí)驗(yàn)、通信電子線路大型實(shí)驗(yàn)、微電子基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)、半導(dǎo)體器件仿真大型實(shí)驗(yàn)、集成電路設(shè)計(jì)大型實(shí)驗(yàn)等實(shí)驗(yàn)類課程。蘇州大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)培養(yǎng)學(xué)生設(shè)計(jì)與開發(fā)電路與系統(tǒng)、集成電路與系統(tǒng)，從事各類系統(tǒng)級(jí)、板級(jí)和芯片級(jí)研發(fā)工作的能力，開設(shè)了信號(hào)與系統(tǒng)、電磁場(chǎng)與電磁波、高頻電路設(shè)計(jì)與制作、電子線路CAD、CMOS模擬集成電路設(shè)計(jì)、VLSI設(shè)計(jì)基礎(chǔ)等專業(yè)課程，以及電子技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)、信號(hào)與電路基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)、電子線路實(shí)驗(yàn)、電子系統(tǒng)綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)等實(shí)驗(yàn)類課程。南京理工大學(xué)培養(yǎng)學(xué)生從事光電子器件、光電系統(tǒng)和集成電路的設(shè)計(jì)、開發(fā)、應(yīng)用的能力，開設(shè)了信號(hào)與系統(tǒng)、光學(xué)、光電信號(hào)處理、光輻射測(cè)量、光電子器件、光電成像技術(shù)、超大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)、光電子技術(shù)、顯示技術(shù)、光電檢測(cè)技術(shù)、數(shù)字圖像處理、半導(dǎo)體集成電路、集成電路測(cè)試技術(shù)、微電子技術(shù)、光電子線路、電視原理等專業(yè)課程。徐州工程學(xué)院的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)培養(yǎng)學(xué)生設(shè)計(jì)與開發(fā)光電子材料與器件的能力，開設(shè)有信號(hào)與系統(tǒng)、光電子學(xué)、光電子技術(shù)、激光原理與技術(shù)、光伏材料等專業(yè)課程，以及模擬電路課程設(shè)計(jì)、數(shù)字電路課程設(shè)計(jì)、單片機(jī)原理課程設(shè)計(jì)等實(shí)踐性課程。我校的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)主要培養(yǎng)學(xué)生集成電路設(shè)計(jì)、光電子材料與器件的設(shè)計(jì)與制備能力，開設(shè)有半導(dǎo)體物理學(xué)、半導(dǎo)體器件原理、MEMS技術(shù)、微電子工藝原理與技術(shù)、薄膜材料及制備技術(shù)、工藝與器件可靠性分析、集成電路工藝與器件模擬、EDA技術(shù)、通信原理、數(shù)字信號(hào)處理、光電子材料與器件、光電檢測(cè)原理與技術(shù)、太陽(yáng)能電池原理與技術(shù)、光纖通信技術(shù)等專業(yè)課程，以及近代物理實(shí)驗(yàn)、專業(yè)實(shí)驗(yàn)等實(shí)驗(yàn)類課程。

3.人才培養(yǎng)特色。杭州電子科技大學(xué)的電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的人才培養(yǎng)特色是注重集成電路設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成方面能力的培養(yǎng)。浙江工業(yè)大學(xué)的人才培養(yǎng)注重光纖通信、集成電路設(shè)計(jì)方面能力的培養(yǎng)。蘇州大學(xué)的人才培養(yǎng)注重電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)方面能力的培養(yǎng)。南京理工大學(xué)的人才培養(yǎng)注重光電技術(shù)和微電子與信息處理學(xué)科的交叉和融合，以光電成像探測(cè)理論與技術(shù)及微電子理論與技術(shù)為專業(yè)特色。徐州工程學(xué)院的人才培養(yǎng)注重光電材料與器件方面能力的培養(yǎng)。我校的人才培養(yǎng)注重電子材料與電子器件的設(shè)計(jì)與開發(fā)、集成電路設(shè)計(jì)方面能力的培養(yǎng)。

參考文獻(xiàn)：

篇（8）

1.引言

集成電路工藝學(xué)是以半導(dǎo)體學(xué)為理論基礎(chǔ)，研究半導(dǎo)體制造工藝過程的科學(xué)[1]。沈陽(yáng)化工大學(xué)的集成電路工藝學(xué)課程是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的主干課，結(jié)合本科教學(xué)，增強(qiáng)實(shí)踐能力，培養(yǎng)創(chuàng)新人才為培養(yǎng)目標(biāo)[2]。本文結(jié)合集成電路工藝學(xué)實(shí)驗(yàn)這門課程，立足于現(xiàn)有的硬件平臺(tái)，從學(xué)生的身心發(fā)展角度出發(fā)，討論了實(shí)驗(yàn)課教學(xué)存在的問題，并針對(duì)問題提出了人性化的改進(jìn)方法。

2.集成電路工藝學(xué)實(shí)驗(yàn)現(xiàn)狀及存在的問題

2.1實(shí)驗(yàn)前期準(zhǔn)備不足。

實(shí)驗(yàn)教師備課不充分。實(shí)驗(yàn)課堂問題是層出不窮的，隨機(jī)的，原因也是無法預(yù)知的。因此要求教師對(duì)實(shí)驗(yàn)原理準(zhǔn)確把握，對(duì)實(shí)驗(yàn)儀器熟練操作。而在現(xiàn)實(shí)中大部分教師的課前準(zhǔn)備工作需要提高。再者學(xué)生課前不預(yù)習(xí)，等到實(shí)驗(yàn)的時(shí)候現(xiàn)看實(shí)驗(yàn)指導(dǎo)書，完全按照實(shí)驗(yàn)指導(dǎo)書的步驟做實(shí)驗(yàn)。

2.2教學(xué)過于依賴實(shí)驗(yàn)教師。

實(shí)驗(yàn)課上，有的學(xué)生不預(yù)習(xí)，只是單一按照實(shí)驗(yàn)指導(dǎo)書上的步驟做實(shí)驗(yàn)，遇到問題自己不思考，問老師，有的老師不引導(dǎo)學(xué)生，直接告訴學(xué)生怎么做，有的甚至直接把實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)都給學(xué)生做出來了，導(dǎo)致學(xué)生動(dòng)手能力很差，依賴程度增強(qiáng)。學(xué)生在實(shí)驗(yàn)過程中僅僅需要進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接，便可得到“理想”結(jié)果。使得實(shí)驗(yàn)課的價(jià)值大打折扣，也使得學(xué)生有理由不用在實(shí)驗(yàn)前做準(zhǔn)備。

2.3注重結(jié)果，忽略實(shí)驗(yàn)過程。

實(shí)驗(yàn)是考查學(xué)生動(dòng)手能力的課程。但是它仍舊是一門需要考查的課程，現(xiàn)有的考評(píng)方式較大的因素取決于最后考試時(shí)的表現(xiàn)，由于實(shí)驗(yàn)本身的不確定性，以及一些隨機(jī)問題，導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)結(jié)果和預(yù)期的存在較大的偏差，甚至有的學(xué)生做完后沒得到實(shí)驗(yàn)結(jié)果，這樣有可能使得學(xué)生的分?jǐn)?shù)大打折扣，導(dǎo)致學(xué)生一味重復(fù)老師所要求的實(shí)驗(yàn)，嚴(yán)格點(diǎn)說就是學(xué)生只關(guān)注了所謂的考點(diǎn)。至于實(shí)驗(yàn)課的目的和意義學(xué)生是不會(huì)重視的。

3.實(shí)驗(yàn)教學(xué)改革

3.1應(yīng)用網(wǎng)絡(luò)作為實(shí)驗(yàn)教學(xué)的平臺(tái)。

我們還積極采用該課程的網(wǎng)絡(luò)課件，學(xué)生通過網(wǎng)絡(luò)課件學(xué)習(xí)本實(shí)驗(yàn)，該課程的教學(xué)大綱、考試大綱、實(shí)驗(yàn)大綱、教學(xué)課件、模擬試題習(xí)題案例、最新發(fā)展動(dòng)態(tài)等，均可由學(xué)生在網(wǎng)上直接查到。還可以跟學(xué)習(xí)好的同學(xué)和任課教師進(jìn)行實(shí)時(shí)溝通、交流。學(xué)生通過網(wǎng)絡(luò)課件參加測(cè)試。學(xué)生的平時(shí)測(cè)驗(yàn)、中期總結(jié)等可通過網(wǎng)絡(luò)教學(xué)平臺(tái)，進(jìn)行設(shè)計(jì)、評(píng)分，并按學(xué)院的統(tǒng)一要求，通過校園網(wǎng)將成績(jī)錄入“學(xué)生成績(jī)管理系統(tǒng)”，從而加速學(xué)生的信息傳送，便于學(xué)生及時(shí)查閱成績(jī)和學(xué)校教務(wù)部門快速管理。

3.2實(shí)驗(yàn)分組統(tǒng)一授予成績(jī)。

在實(shí)驗(yàn)課程開始前，對(duì)所有做實(shí)驗(yàn)的學(xué)生進(jìn)行分組，按照自愿結(jié)合和強(qiáng)弱搭配的原則，實(shí)施小組長(zhǎng)負(fù)責(zé)管理模式。一個(gè)小組在實(shí)驗(yàn)階段是一個(gè)小的團(tuán)隊(duì)，小組的總成績(jī)?yōu)槊總€(gè)學(xué)生的成績(jī)。通過小組實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｊ剑欣趯W(xué)生間的交流、研究，更有助于發(fā)揮團(tuán)隊(duì)協(xié)作能力。同時(shí)也降低了過分重視期末考試成績(jī)的情況，使得考評(píng)方式更加人性化。

3.3加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)教學(xué)，理論用于實(shí)踐。

在教學(xué)過程中，堅(jiān)持理論和實(shí)踐相結(jié)合的原則。建議開設(shè)最基本的半導(dǎo)體平面工藝實(shí)驗(yàn)，如氧化、擴(kuò)散、離子注入、光刻、沉積。實(shí)驗(yàn)要求每組學(xué)生用拋光硅片，通過氧化、光刻、等工序制備晶體管，是一個(gè)典型的綜合性、研究型實(shí)驗(yàn)。通過實(shí)驗(yàn)教學(xué)，既培養(yǎng)了學(xué)生的動(dòng)手能力，又使學(xué)生掌握了科學(xué)的分析問題的方法。

4.實(shí)驗(yàn)內(nèi)容和方式的創(chuàng)新。

本專業(yè)原有實(shí)驗(yàn)教學(xué)設(shè)備中，有驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)所占的比例較大，其中實(shí)驗(yàn)內(nèi)容又多以服務(wù)于理論教學(xué)而設(shè)計(jì)。這類實(shí)驗(yàn)不利于培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新思維和創(chuàng)新能力。而綜合性和設(shè)計(jì)性實(shí)驗(yàn)?zāi)軓亩嘟嵌取⒍鄬哟巍⒍喾轿弧⒍嗤緩藉憻拰W(xué)生，并對(duì)學(xué)生進(jìn)行提問，提高學(xué)生分析問題和解決問題的能力，同時(shí)也是培養(yǎng)學(xué)生實(shí)踐能力和創(chuàng)新能力的重要手段。按照現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)條件，我們首先對(duì)已有的實(shí)驗(yàn)設(shè)備進(jìn)行了整合，通過調(diào)試和添加一些新的器件，把現(xiàn)有的6個(gè)實(shí)驗(yàn)中的3個(gè)變?yōu)榫C合性實(shí)驗(yàn)，例如氧化工藝實(shí)驗(yàn)，原有的實(shí)驗(yàn)通過創(chuàng)新改革后，達(dá)到以督促學(xué)生培養(yǎng)嚴(yán)謹(jǐn)客觀的科研態(tài)度、規(guī)范正確的操作手法、獨(dú)立思考和自主學(xué)習(xí)的能力，等等。

5.結(jié)語(yǔ)

上述實(shí)驗(yàn)教學(xué)改革，得到了學(xué)生的一致認(rèn)同，改革調(diào)整了學(xué)生的知識(shí)結(jié)構(gòu)，使學(xué)生實(shí)現(xiàn)從知識(shí)型向能力型、由單一型向復(fù)合型、從模仿型向創(chuàng)新型的轉(zhuǎn)變。

篇（9）

一、引言

微電子技術(shù)與國(guó)家科技發(fā)展密切相關(guān)，是21世紀(jì)我國(guó)重點(diǎn)發(fā)展的技術(shù)方向。在新形勢(shì)下，無論軍用還是民用方面都對(duì)微電子方向人才有強(qiáng)烈需求。高校微電子專業(yè)是以培養(yǎng)能在微電子學(xué)領(lǐng)域內(nèi)，從事半導(dǎo)體器件、集成電路設(shè)計(jì)、制造和相應(yīng)的新產(chǎn)品、新技術(shù)、新工藝的研究和開發(fā)等方面工作的高級(jí)應(yīng)用型科技人才為目標(biāo)的。因此，要求學(xué)生不僅要具備堅(jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)，還需具備突出的專業(yè)能力和創(chuàng)新能力，滿足行業(yè)的快速發(fā)展和社會(huì)需求。

目前我國(guó)微電子行業(yè)中，微電子工藝研究相對(duì)于器件和集成電路設(shè)計(jì)研究工作是滯后的，處于不平衡發(fā)展?fàn)顟B(tài)，為使行業(yè)發(fā)展更均衡，需要加強(qiáng)微電子工藝人才的培養(yǎng)。微電子工藝是微電子專業(yè)中非常重要的專業(yè)課，主要研究微電子器件與集成電路制造工藝原理與技術(shù)。微電子器件與集成電路尺寸都是在微米甚至納米量級(jí)，導(dǎo)致在理論學(xué)習(xí)過程中，學(xué)生理解有一定的困難，因此需要通過開設(shè)微電子工藝實(shí)驗(yàn)課程加深和鞏固知識(shí)內(nèi)容，使學(xué)生更加直接地接觸微電子行業(yè)核心技術(shù)，了解半導(dǎo)體器件、集成電路生產(chǎn)制造加工的技術(shù)方法，從而促進(jìn)學(xué)生對(duì)微電子工藝等課程的學(xué)習(xí)。因此，微電子工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)可以有效地彌補(bǔ)理論教學(xué)的局限性和抽象性，促進(jìn)學(xué)生對(duì)理論課的理解和提高學(xué)生的動(dòng)手能力。

二、課程分析

微電子工藝課程要求掌握制造集成電路所涉及的外延、氧化、摻雜、光刻、刻蝕、化學(xué)氣相淀積、物理氣相淀積、金屬化等技術(shù)的原理與方法，熟悉雙極型和M0s集成電路的制造工藝流程，了解集成電路的新工藝和新技術(shù)。微電子技術(shù)的發(fā)展是遵循摩爾定律，快速發(fā)展變化的，雖然工程教育要求教學(xué)最新最前沿的技術(shù)，但微電子設(shè)備價(jià)格昂貴，運(yùn)轉(zhuǎn)與維護(hù)費(fèi)用很高，任何高校都很難不斷升級(jí)換代；而且集成電路制造技術(shù)的更新迭代主要是在摻雜技術(shù)、光刻技術(shù)、電極制造技術(shù)方面進(jìn)行了技術(shù)改進(jìn)，在其他方面還都是相似的，因此，在高校中單純追求工藝先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)教學(xué)是不現(xiàn)實(shí)的。基于此，結(jié)合實(shí)際教學(xué)資源情況，建設(shè)主流、典型工藝技術(shù)的工藝實(shí)驗(yàn)線，并開展理論聯(lián)系實(shí)踐的實(shí)驗(yàn)教學(xué)是微電子工藝實(shí)驗(yàn)室建設(shè)的重點(diǎn)。通過實(shí)驗(yàn)使學(xué)生更牢固地掌握晶體管及簡(jiǎn)單Ic的整個(gè)工藝制造技術(shù)，學(xué)會(huì)測(cè)試晶體管重要參數(shù)，以及初步了解集成電路工藝制造過程。

黑龍江大學(xué)微電子工藝實(shí)驗(yàn)室已建立數(shù)十年，之前受到設(shè)備的限制，所開設(shè)的實(shí)驗(yàn)都是分立的，不能完全按工藝流程完成器件的制作，沒有形成有機(jī)整體，學(xué)生缺乏對(duì)晶體管制作工藝流程的整體認(rèn)識(shí)。經(jīng)過不斷發(fā)展和學(xué)校的大量投入，目前該實(shí)驗(yàn)室擁有一條微電子平面工藝線，主要的設(shè)備包括磁控濺射設(shè)備、電子束蒸發(fā)設(shè)備、CVD化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)、光刻機(jī)、離子刻蝕機(jī)、擴(kuò)散爐、氧化爐、超聲壓焊機(jī)、燒結(jié)爐等。這些設(shè)備保證了微電子工藝實(shí)驗(yàn)?zāi)軌虬淳w管制作工藝流程順序完成制作。同時(shí)實(shí)驗(yàn)室配備了測(cè)試環(huán)節(jié)所必須的顯微鏡、電阻率測(cè)試儀、探針測(cè)試臺(tái)、半導(dǎo)體特性圖示儀等檢測(cè)儀器，通過實(shí)驗(yàn)?zāi)苓M(jìn)一步加深學(xué)生對(duì)微電子工藝制造過程的了解。實(shí)踐證明，以上實(shí)驗(yàn)內(nèi)容對(duì)學(xué)生掌握知識(shí)和開拓視野起到十分重要的作用，效果顯著。該實(shí)驗(yàn)室多年來一直開展本科生教學(xué)和本科生畢業(yè)設(shè)計(jì)、研究生畢業(yè)設(shè)計(jì)、各類創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目等教學(xué)、科研工作。

三、實(shí)驗(yàn)教學(xué)的開展

為了達(dá)到理論實(shí)踐相互支撐與關(guān)聯(lián)，通過實(shí)驗(yàn)促進(jìn)理論學(xué)習(xí)，筆者根據(jù)微電子專業(yè)特點(diǎn)，開展了微電子工藝實(shí)驗(yàn)的教學(xué)改革。在原有的微電子平面工藝實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，建立由實(shí)驗(yàn)內(nèi)容的設(shè)置、多媒體工藝視頻、實(shí)際操作的工藝實(shí)驗(yàn)、實(shí)驗(yàn)考核方法和參觀學(xué)習(xí)五部分組成的教學(xué)方式，形成有效的實(shí)踐教學(xué)，加強(qiáng)了學(xué)生對(duì)制造技術(shù)和工藝流程的整體的認(rèn)識(shí)，培養(yǎng)了學(xué)生對(duì)半導(dǎo)體器件原理研究的興趣，使學(xué)生對(duì)將來從事半導(dǎo)體工藝方面的研究充滿信心。

（一）實(shí)驗(yàn)內(nèi)容的設(shè)置

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容主要包括四部分：

1.教師提供給學(xué)生難易不同的器件結(jié)構(gòu)（二極管、三極管、MOS管等），學(xué)生可以自主選擇；

2.根據(jù)器件結(jié)構(gòu)，計(jì)算機(jī)輔助軟件設(shè)計(jì)器件制作的工藝流程；

3.通過實(shí)驗(yàn)室提供的儀器設(shè)備完成器件制作；

4.測(cè)試器件性能參數(shù)。

通過這樣設(shè)置，既能掌握微電子工藝的基本理論，又能通過實(shí)驗(yàn)分析完善工藝參數(shù)，使學(xué)生完全參與其中。

（二）多媒體工藝視頻

為了讓學(xué)生對(duì)集成電路設(shè)計(jì)和微電子制造工藝有直觀的認(rèn)識(shí)。結(jié)合實(shí)際的實(shí)驗(yàn)教學(xué)過程，制作全程相關(guān)單項(xiàng)工藝技術(shù)、流程及設(shè)備操作視頻演示資料，同時(shí)強(qiáng)調(diào)工藝制作過程中安全操作和注意事項(xiàng)，防止危險(xiǎn)的發(fā)生。

（三）實(shí)際操作的工藝實(shí)驗(yàn)

工藝實(shí)驗(yàn)涵蓋清洗、氧化、擴(kuò)散、光刻、制版、蒸鍍、燒結(jié)、壓焊等主要工序，為學(xué)生親自動(dòng)手制作半導(dǎo)體器件和制造集成電路提供了一個(gè)完整的實(shí)驗(yàn)條件。學(xué)生根據(jù)所學(xué)的理論知識(shí)了解器件結(jié)構(gòu)、確定工藝條件、按照流程完成器件的制作。保證每名學(xué)生都參與到器件制作過程中。同時(shí)每個(gè)單項(xiàng)工序時(shí)間和內(nèi)容采取預(yù)約制，實(shí)現(xiàn)開放式實(shí)驗(yàn)教學(xué)。

、

（四）實(shí)驗(yàn)考核方法

在實(shí)驗(yàn)教學(xué)環(huán)節(jié)中，實(shí)驗(yàn)考核是重要的教學(xué)質(zhì)量評(píng)價(jià)手段。實(shí)驗(yàn)著重對(duì)動(dòng)手能力和綜合分析問題的能力及創(chuàng)新能力進(jìn)行考核。主要考核內(nèi)容包括：

1.器件工藝設(shè)計(jì)：考核設(shè)計(jì)器件制作流程的合理性；

2.工藝實(shí)驗(yàn)：考核現(xiàn)場(chǎng)工藝操作是否規(guī)范，選用的工藝條件是否合理；

3.測(cè)試結(jié)果：考核制作器件的測(cè)試結(jié)果；

4.實(shí)驗(yàn)分析報(bào)告：考核分析問題和解決問題能力，并最終給出綜合成績(jī)。

（五）參觀學(xué)習(xí)

篇（10）

【基金項(xiàng)目】湖南省自然科學(xué)基金項(xiàng)目（14JJ6040）;湖南工程學(xué)院博士啟動(dòng)基金。

【中圖分類號(hào)】G642.3 【文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼】A 【文章編號(hào)】2095-3089（2015）08-0255-01

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，電子產(chǎn)品向著智能化、小型化和低功耗發(fā)展。集成電路技術(shù)的不斷進(jìn)步，推動(dòng)著計(jì)算機(jī)等電子產(chǎn)品的不斷更新?lián)Q代，同時(shí)也推動(dòng)著整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展[1]。因此，對(duì)集成電路相關(guān)人才的需求也日益增加。目前國(guó)內(nèi)不僅僅985、211等重點(diǎn)院校開設(shè)了集成電路相關(guān)課程，一些普通本科院校也開設(shè)了相關(guān)課程。課程的教學(xué)內(nèi)容由單純的器件物理轉(zhuǎn)變?yōu)榘M集成電路、數(shù)字集成電路、集成電路工藝、集成電路封裝與測(cè)試等[2]。隨著本科畢業(yè)生就業(yè)壓力的不斷增加，培養(yǎng)應(yīng)用型、創(chuàng)新型以及可發(fā)展型的本科人才顯得日益重要。然而，從目前我國(guó)各普通院校對(duì)集成電路的課程設(shè)置來看，存在著重傳統(tǒng)輕前沿、不因校施教、不因材施教等問題，進(jìn)而導(dǎo)致學(xué)生對(duì)集成電路敬而遠(yuǎn)之，退避三舍，學(xué)習(xí)積極性不高，繼而導(dǎo)致學(xué)生的可發(fā)展性不好，不能適應(yīng)企業(yè)的要求。

本文結(jié)合湖南工程學(xué)院電氣信息學(xué)院電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的實(shí)際，詳細(xì)闡述了本校當(dāng)前“集成電路原理與應(yīng)用”課程理論教學(xué)中存在的問題，介紹了該課程的教學(xué)改革措施，旨在提高本校及各兄弟院校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)學(xué)生的專業(yè)興趣，培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新意識(shí)。

1.“集成電路原理與應(yīng)用”課程理論教學(xué)存在的主要問題

1.1理論性強(qiáng)，課時(shí)較少

對(duì)于集成電路來說，在講解之前，學(xué)生應(yīng)該已經(jīng)學(xué)習(xí)了以下課程，如：“固體物理”、“半導(dǎo)體物理”、“晶體管原理”等。但是，由于這些課程的理論性較強(qiáng)，公式較多，要求學(xué)生的數(shù)學(xué)功底要好。這對(duì)于數(shù)學(xué)不是很好的學(xué)生來說，就直接導(dǎo)致了其學(xué)習(xí)興趣降低。由于目前嵌入式就業(yè)前景比較好，在我們學(xué)校，電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的學(xué)生更喜歡嵌入式方面的相關(guān)課程。而集成電路相關(guān)企業(yè)更喜歡研究生或者實(shí)驗(yàn)條件更好的985、211高校的畢業(yè)生，使得我校集成電路方向的本科畢業(yè)生找到相關(guān)的較好工作比較困難。因此，目前我校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的發(fā)展方向定位為嵌入式，這就導(dǎo)致一些跟集成電路相關(guān)的課程，如“微電子工藝”、“晶體管原理”、“半導(dǎo)體物理”等課程都取消掉了，而僅僅保留了“模擬電子技術(shù)”和“數(shù)字電子技術(shù)”這兩門基礎(chǔ)課程。這對(duì)于集成電路課程的講授更增加了難度。“集成電路原理與應(yīng)用”課程只有56課時(shí)，理論課46課時(shí)，實(shí)驗(yàn)課10課時(shí)。只講授教材上的內(nèi)容，沒有基礎(chǔ)知識(shí)的積累，就像空中架房，沒有根基。在教材的基礎(chǔ)上額外再講授基礎(chǔ)知識(shí)的話，課時(shí)又遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。這就導(dǎo)致老師講不透，學(xué)生聽不懂，效果很不好。

1.2重傳統(tǒng)知識(shí)，輕科技前沿

利用經(jīng)典案例來進(jìn)行課程教學(xué)是夯實(shí)集成電路基礎(chǔ)的有效手段。但是對(duì)于集成電路來說，由于其更新?lián)Q代的速度非常快，故在進(jìn)行教學(xué)時(shí)，除了采用經(jīng)典案例來夯實(shí)基礎(chǔ)外，還需緊扣產(chǎn)業(yè)的發(fā)展前沿。只有這樣才能保證人才培養(yǎng)不過時(shí)，學(xué)校培養(yǎng)的學(xué)生與社會(huì)需求不脫節(jié)。但目前在授課內(nèi)容上還只是注重傳統(tǒng)知識(shí)的講授，對(duì)于集成電路的發(fā)展動(dòng)態(tài)和科技前沿則很少涉及。

1.3不因校施教，因材施教

教材作為教師教和學(xué)生學(xué)的主要憑借，是教師搞好教書育人的具體依據(jù)，是學(xué)生獲得知識(shí)的重要工具。然而，我校目前“集成電路原理與應(yīng)用”課程采用的教材還沒有選定。如：2012年采用葉以正、來逢昌編寫，清華大學(xué)出版社出版的《集成電路設(shè)計(jì)》;2013年采用畢查德?拉扎維編寫，西安交通大學(xué)出版社出版的《模擬CMOS集成電路設(shè)計(jì)》;2014年采用余寧梅、楊媛、潘銀松編著，科學(xué)出版社出版的《半導(dǎo)體集成電路》。教材一直不固定的原因是還沒有找到適合我校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)學(xué)生實(shí)際情況的教材，這就導(dǎo)致教師不能因校施教、因材施教。

2.“集成電路原理與應(yīng)用”課程理論教學(xué)改革

2.1選優(yōu)選新課程內(nèi)容，夯實(shí)基礎(chǔ)

由于我校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的學(xué)生，沒有開設(shè)“半導(dǎo)體物理”、“晶體管原理”、“微電子工藝”等相關(guān)基礎(chǔ)課程，因此理想的、適用于我校學(xué)生實(shí)際的教材應(yīng)該包括半導(dǎo)體器件原理、模擬集成電路設(shè)計(jì)、雙極型數(shù)字集成電路設(shè)計(jì)、CMOS數(shù)字集成電路設(shè)計(jì)、集成電路的設(shè)計(jì)方法、集成電路的制作工藝、集成電路的版圖設(shè)計(jì)等內(nèi)容，如表1所示。因此，在教學(xué)實(shí)踐中，本著“基礎(chǔ)、夠用”的原則，采取選優(yōu)選新的思路，盡量選擇適合我校專業(yè)實(shí)際的教材。目前，使用筆者編寫的適合于我校學(xué)生實(shí)際的理論教學(xué)講義，理順了理論教學(xué)，實(shí)現(xiàn)了因校施教，因材施教。

表1 “集成電路原理與應(yīng)用”課程教學(xué)內(nèi)容

2.2提取科技前沿作為教學(xué)內(nèi)容，激發(fā)專業(yè)興趣

為了提高學(xué)生的專業(yè)興趣，讓他們了解“集成電路原理與應(yīng)用”課程的價(jià)值所在，在授課的過程中穿插介紹集成電路設(shè)計(jì)的前沿動(dòng)態(tài)。如：從IEEE國(guó)際固體電路會(huì)議的論文集中提取模塊、電路、仿真、工藝等最新的內(nèi)容，并將這些內(nèi)容按照門類進(jìn)行分類和總結(jié)，穿插至傳統(tǒng)的理論知識(shí)講授中，讓學(xué)生及時(shí)了解當(dāng)前集成電路設(shè)計(jì)的核心問題。這樣不但可以激發(fā)學(xué)生的好奇心和學(xué)習(xí)興趣，還可以提高學(xué)生的創(chuàng)新能力。

2.3開展雙語(yǔ)教學(xué)互動(dòng)，提高綜合能力

目前，我國(guó)的集成電路產(chǎn)業(yè)相對(duì)于國(guó)外來說，還存在著相當(dāng)?shù)牟罹唷Ｒ_展雙語(yǔ)教學(xué)的原因有三：一是集成電路課程的一些基本專業(yè)術(shù)語(yǔ)都是由英文翻譯過來的;二是集成電路的研究前沿都是以英文發(fā)表在期刊上的;三是世界上主流的EDA軟件供應(yīng)商都集中在歐美國(guó)家，軟件的操作語(yǔ)言與使用說明書都是英文的。因此，集成電路課程對(duì)學(xué)生的英語(yǔ)能力要求很高，在課堂上適當(dāng)開展雙語(yǔ)教學(xué)互動(dòng)，無論是對(duì)于學(xué)生繼續(xù)深造，還是就業(yè)都是非常必要的。

3.結(jié)語(yǔ)

集成電路自二十世紀(jì)五十年代被提出以來，經(jīng)歷了小規(guī)模、中規(guī)模、大規(guī)模、超大規(guī)模、甚大規(guī)模，目前已經(jīng)進(jìn)入到了片上系統(tǒng)階段。雖然集成電路的發(fā)展日新月異，但目前集成電路相關(guān)人才的學(xué)校培養(yǎng)與社會(huì)需求存在很大的差距。因此，對(duì)集成電路相關(guān)課程的教學(xué)改革刻不容緩。基于此，本文從“集成電路原理與應(yīng)用”課程理論教學(xué)出發(fā)，詳細(xì)闡述了“集成電路原理與應(yīng)用”課程教學(xué)所存在的主要問題，并有針對(duì)性的提出了該課程教學(xué)內(nèi)容和教學(xué)方法的改革措施，這對(duì)培養(yǎng)應(yīng)用型、創(chuàng)新型的集成電路相關(guān)專業(yè)的本科畢業(yè)生具有積極的指導(dǎo)意義。

篇（11）

1.引言

微電子技術(shù)是隨著集成電路，尤其是大規(guī)模集成電路發(fā)展起來的一門新技術(shù)。微電子產(chǎn)業(yè)包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)，器件物理，工藝技術(shù)，材料制備，自動(dòng)測(cè)試及封裝等一系列專門的技術(shù)的產(chǎn)業(yè)。微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展非常迅速，它已經(jīng)滲透到了國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)領(lǐng)域，特別是以集成電路為關(guān)鍵技術(shù)的電子戰(zhàn)和信息戰(zhàn)都要依托于微電子產(chǎn)業(yè)。

微電子技術(shù)是微電子產(chǎn)業(yè)的核心，是在電子電路和系統(tǒng)的超小型化和微型化的過程中逐漸形成和發(fā)展起來的。微電子技術(shù)也是信息技術(shù)的基礎(chǔ)和心臟，是當(dāng)今發(fā)展最快的技術(shù)之一。近年來，微電子技術(shù)已經(jīng)開始向相關(guān)行業(yè)滲透，形成新的研究領(lǐng)域。

2.微電子技術(shù)概述

2.1 認(rèn)識(shí)微電子

微電子技術(shù)的發(fā)展水平已經(jīng)成為衡量一個(gè)國(guó)家科技進(jìn)步和綜合國(guó)力的重要標(biāo)志之一。因此，學(xué)習(xí)微電子，認(rèn)識(shí)微電子，使用微電子，發(fā)展微電子，是信息社會(huì)發(fā)展過程中，當(dāng)代大學(xué)生所渴求的一個(gè)重要課程。

生活在當(dāng)代的人們，沒有不使用微電子技術(shù)產(chǎn)品的，如人們每天隨身攜帶的手機(jī)；工作中使用的筆記本電腦，乘坐公交、地鐵的IC卡，孩子玩的智能電子玩具，在電視上欣賞從衛(wèi)星上發(fā)來的電視節(jié)目等等，這些產(chǎn)品與設(shè)備中都有基本的微電子電路。微電子的本領(lǐng)很大，但你要看到它如何工作卻相當(dāng)難，例如有一個(gè)像我們頭腦中起記憶作用的小硅片―它的名字叫存儲(chǔ)器，是電腦的記憶部分，上面有許許多多小單元，它與神經(jīng)細(xì)胞類似，這種小單元工作一次所消耗的能源只有神經(jīng)元的六十分之一，再例如你手中的電話，將你的話音從空中發(fā)射出去并將對(duì)方說的話送回來告訴你，就是靠一種叫“射頻微電子電路”或叫“微波單片集成電路”進(jìn)行工作的。它們會(huì)將你要表達(dá)的信息發(fā)送給對(duì)方，甚至是通過通信衛(wèi)星發(fā)送到地球上的任何地方。其傳遞的速度達(dá)到300000KM/S，即以光速進(jìn)行傳送，可實(shí)現(xiàn)雙方及時(shí)通信。

“微電子”不是“微型的電子”，其完整的名字應(yīng)該是“微型電子電路”，微電子技術(shù)則是微型電子電路技術(shù)。微電子技術(shù)對(duì)我們社會(huì)發(fā)展起著重要作用，是使我們的社會(huì)高速信息化，并將迅速地把人類帶入高度社會(huì)化的社會(huì)。“信息經(jīng)濟(jì)”和“信息社會(huì)”是伴隨著微電子技術(shù)發(fā)展所必然產(chǎn)生的。

2.2 微電子技術(shù)的基礎(chǔ)材料――取之不盡的硅

位于元素周期表第14位的硅是微電子技術(shù)的基礎(chǔ)材料，硅的優(yōu)點(diǎn)是工作溫度高，可達(dá)200攝氏度；二是能在高溫下氧化生成二氧化硅薄膜，這種氧化硅薄膜可以用作為雜質(zhì)擴(kuò)散的掩護(hù)膜，從而能使擴(kuò)散、光刻等工藝結(jié)合起來制成各種結(jié)構(gòu)的電路，而氧化硅層又是一種很好的絕緣體，在集成電路制造中它可以作為電路互聯(lián)的載體。此外，氧化硅膜還是一種很好的保護(hù)膜，它能防止器件工作時(shí)受周圍環(huán)境影響而導(dǎo)致性能退化。第三個(gè)優(yōu)點(diǎn)是受主和施主雜質(zhì)有幾乎相同的擴(kuò)散系數(shù)。這就為硅器件和電路工藝的制作提供了更大的自由度。硅材料的這些優(yōu)越性能促成了平面工藝的發(fā)展，簡(jiǎn)化了工藝程序，降低了制造成本，改善了可靠性，并大大提高了集成度，使超大規(guī)模集成電路得到了迅猛的發(fā)展。

2.3 集成電路的發(fā)展過程

20世紀(jì)晶體管的發(fā)明是整個(gè)微電子發(fā)展史上一個(gè)劃時(shí)代的突破。從而使得電子學(xué)家們開始考慮晶體管的組合與集成問題，制成了固體電路塊―集成電路。從此，集成電路迅速?gòu)男∫?guī)模發(fā)展到大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路，如圖1所示。

圖1 集成電路發(fā)展示意圖

集成電路的分類方法很多，按領(lǐng)域可分為：通用集成電路和專用集成電路；按電路功能可分為：數(shù)字集成電路、模擬集成電路和數(shù)模混合集成電路；按器件結(jié)構(gòu)可分為：MOS集成電路、雙極型集成電路和BiIMOS集成電路；按集成電路集成度可分為：小規(guī)模集成電路SSI、中規(guī)模集成電路MSI、大規(guī)模集成電路LSI、超導(dǎo)規(guī)模集成電路VLSI、特大規(guī)模集成電路ULSI和巨大規(guī)模集成電路CSI。

隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了集成電路（IC），集成電路是微電子學(xué)的研究對(duì)象，其正在向著高集成度、低功耗、高性能、高可靠性的方向發(fā)展。

2.4 走進(jìn)人們生活的微電子

IC卡，是現(xiàn)代微電子技術(shù)的結(jié)晶，是硬件與軟件技術(shù)的高度結(jié)合。存儲(chǔ)IC卡也稱記憶IC卡，它包括有存儲(chǔ)器等微電路芯片而具有數(shù)據(jù)記憶存儲(chǔ)功能。在智能IC卡中必須包括微處理器，它實(shí)際上具有微電腦功能，不但具有暫時(shí)或永久存儲(chǔ)、讀取、處理數(shù)據(jù)的能力，而且還具備其他邏輯處理能力，還具有一定的對(duì)外界環(huán)境響應(yīng)、識(shí)別和判斷處理能力。

IC卡在人們工作生活中無處不在，廣泛應(yīng)用于金融、商貿(mào)、保健、安全、通信及管理等多種方面，例如：移動(dòng)電話卡，付費(fèi)電視卡，公交卡，地鐵卡，電子錢包，識(shí)別卡，健康卡，門禁控制卡以及購(gòu)物卡等等。IC卡幾乎可以替代所有類型的支付工具。

隨著IC技術(shù)的成熟，IC卡的芯片已由最初的存儲(chǔ)卡發(fā)展到邏輯加密卡裝有微控制器的各種智能卡。它們的存儲(chǔ)量也愈來愈大，運(yùn)算功能越來越強(qiáng)，保密性也愈來愈高。在一張卡上賦予身份識(shí)別，資料（如電話號(hào)碼、主要數(shù)據(jù)、密碼等）存儲(chǔ)，現(xiàn)金支付等功能已非難事，“手持一卡走遍天下”將會(huì)成為現(xiàn)實(shí)。

3.微電子技術(shù)發(fā)展的新領(lǐng)域

微電子技術(shù)是電子科學(xué)與技術(shù)的二級(jí)學(xué)科。電子信息科學(xué)與技術(shù)是當(dāng)代最活躍，滲透力最強(qiáng)的高新技術(shù)。由于集成電路對(duì)各個(gè)產(chǎn)業(yè)的強(qiáng)烈滲透，使得微電子出現(xiàn)了一些新領(lǐng)域。

3.1 微機(jī)電系統(tǒng)

MEMS（Micro-Electro-Mechanical systems）微機(jī)電系統(tǒng)主要由微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理電路和控制電路、通信接口和電源等部件組成，主要包括微型傳感器、執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路三部分，它融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并將微電子技術(shù)和精密機(jī)械加工技術(shù)、微電子與機(jī)械融為一體的系統(tǒng)。是在現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。

當(dāng)前，常用的制作MEMS器件的技術(shù)主要由三種：一種是以日本為代表的利用傳統(tǒng)機(jī)械加工手段，即利用大機(jī)械制造小機(jī)械，再利用小機(jī)械制造微機(jī)械的方法，可以用于加工一些在特殊場(chǎng)合應(yīng)用的微機(jī)械裝置，如微型機(jī)器人，微型手術(shù)臺(tái)等。第二種是以美國(guó)為代表的利用化學(xué)腐蝕或集成電路工藝技術(shù)對(duì)硅材料進(jìn)行加工，形成硅基MEMS器件，它與傳統(tǒng)IC工藝兼容，可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械和微電子的系統(tǒng)集成，而且適合于批量生產(chǎn)，已成為目前MEMS的主流技術(shù)，第三種是以德國(guó)為代表的LIGA（即光刻，電鑄如塑造）技術(shù)，它是利用X射線光刻技術(shù)，通過電鑄成型和塑造形成深層微結(jié)構(gòu)的方法，人們已利用該技術(shù)開發(fā)和制造出了微齒輪、微馬達(dá)、微加速度計(jì)、微射流計(jì)等。

MEMS的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，在信息技術(shù)，航空航天，科學(xué)儀器和醫(yī)療方面將起到分別采用機(jī)械和電子技術(shù)所不能實(shí)現(xiàn)的作用。

3.2 生物芯片

生物芯片（Bio chip）將微電子技術(shù)與生物科學(xué)相結(jié)合的產(chǎn)物，它以生物科學(xué)基礎(chǔ)，利用生物體、生物組織或細(xì)胞功能，在固體芯片表面構(gòu)建微分析單元，以實(shí)現(xiàn)對(duì)化合物、蛋白質(zhì)、核酸、細(xì)胞及其他生物組分的正確、快速的檢測(cè)。目前已有DNA基因檢測(cè)芯片問世。如Santford和Affymetrize公司制作的DNA芯片包含有600余種DNA基本片段。其制作方法是在玻璃片上刻蝕出非常小的溝槽，然后在溝槽中覆蓋一層DNA纖維，不同的DNA纖維圖案分別表示不同的DNA基本片段。采用施加電場(chǎng)等措施可使一些特殊物質(zhì)反映出某些基因的特性從而達(dá)到檢測(cè)基因的目的。以DNA芯片為代表的生物工程芯片將微電子與生物技術(shù)緊密結(jié)合，采用微電子加工技術(shù)，在指甲大小的硅片上制作包含多達(dá)20萬種DNA基本片段的芯片。DNA芯片可在極短的時(shí)間內(nèi)檢測(cè)或發(fā)現(xiàn)遺傳基因的變化，對(duì)遺傳學(xué)研究、疾病診斷、疾病治療和預(yù)防、轉(zhuǎn)基因工程等具有極其重要的作用。生物工程芯片是21世紀(jì)微電子領(lǐng)域的一個(gè)熱點(diǎn)并且具有廣闊的應(yīng)用前景。

3.3 納米電子技術(shù)

在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，利用超晶格量子阱材料的特性研制出了新一代電子器件，如：高電子遷移晶體管（HEMT），異質(zhì)結(jié)雙極晶體管（HBT），低閾值電流量子激光器等。

在半導(dǎo)體超薄層中，主要的量子效應(yīng)有尺寸效應(yīng)、隧道效應(yīng)和干涉效應(yīng)。這三種效應(yīng)，已在研制新器件時(shí)得到不同程度的應(yīng)用。

（1）在FET中，采用異質(zhì)結(jié)構(gòu)，利用電子的量子限定效應(yīng)，可使施主雜質(zhì)與電子空間分離，從而消除了雜質(zhì)散射，獲得高電子遷移率，這種晶體管，在低場(chǎng)下有高跨度，工作頻率，進(jìn)入毫米波，有極好的噪聲特性。

（2）利用諧振隧道效應(yīng)制成諧振隧道二極管和晶體管。用于邏輯集成電路，不僅可以減小所需晶體管數(shù)目，還有利于實(shí)現(xiàn)低功耗和高速化。

（3）制成新型光探測(cè)器。在量子阱內(nèi)，電子可形成多個(gè)能級(jí)，利用能級(jí)間躍遷，可制成紅外線探測(cè)器。

利用量子線、量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)作激光器的有源區(qū)，比量子阱激光器更加優(yōu)越。在量子遂道中，當(dāng)電子通過隧道結(jié)時(shí)，隧道勢(shì)壘兩側(cè)的電位差發(fā)生變化，如果勢(shì)壘的靜電能量的變化比熱能還大，那么就能對(duì)下一個(gè)電子隧道結(jié)起阻礙作用。基于這一原理，可制作放大器件，振蕩器件或存儲(chǔ)器件。

量子微結(jié)構(gòu)大體分為微細(xì)加工和晶體生長(zhǎng)兩大類。

4.微電子技術(shù)的主要研究方向

目前微電子技術(shù)正朝著三個(gè)方向發(fā)展。第一，繼續(xù)增大晶圓尺寸并縮小特征尺寸。第二，集成電路向系統(tǒng)芯片（system on chip，SOC）方向發(fā)展。第三，微電子技術(shù)與其他領(lǐng)域相結(jié)合將產(chǎn)生新產(chǎn)業(yè)和新學(xué)科，如微機(jī)電系統(tǒng)和生物芯片。隨著微電子學(xué)與其他學(xué)科的交叉日趨深入，相關(guān)的新現(xiàn)象，新材料，新器件的探索日益增加，光子集成如光電子集成技術(shù)也不斷發(fā)展，這些研究的不斷深入，彼此間的交叉融合，將是未來的研究方向。

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